四川知微传感技术有限公司范宏斌获国家专利权
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龙图腾网获悉四川知微传感技术有限公司申请的专利一种Z轴MEMS闭环加速度计组件和加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120334571B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510820307.4，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种Z轴MEMS闭环加速度计组件和加速度计是由范宏斌;王岩;张耿城;周瑞;张恒基;罗鹏设计研发完成，并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Z轴MEMS闭环加速度计组件和加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种Z轴MEMS闭环加速度计组件和加速度计，涉及微机械MEMS加速度计技术领域。本发明的Z轴MEMS闭环加速度计采用闭环设计，结构包括基板、电极层和可动结构层，通过可动结构层中的检测质量块的对称设计和制造质量差，将质量大者同时作为检测质量块和驱动质量块使用，省去了传统跷跷板结构中独立设置的驱动质量块所占用面积，显著减少了可动结构层的空间占用，增大了有效检测面积，因此提升了检测灵敏度。
本发明授权一种Z轴MEMS闭环加速度计组件和加速度计在权利要求书中公布了：1.一种Z轴MEMS闭环加速度计组件，其特征在于，包括： 基板； 电极层，包括设于所述基板上的至少一对差分电容极板； 可动结构层，设于所述基板的上方，包括检测质量块和扭转梁，所述检测质量块通过所述扭转梁与所述基板键合；当Z轴方向产生加速度信号时，所述检测质量块相对所述扭转梁面外运动，以在所述至少一对差分电容极板上形成差分检测信号； 其中，所述检测质量块分为相对所述扭转梁对称的第一检测质量块和第二检测质量块，所述第一检测质量块的质量大于所述第二检测质量块的质量，以使所述第一检测质量块同时作为检测质量块和驱动质量块使用； 所述第二检测质量块的背离所述基板的一侧表面刻蚀有凹陷部，以使所述第一检测质量块的质量大于所述第二检测质量块的质量；凹陷部包括多个均匀的浅槽，浅槽的厚度小于所述检测质量块的厚度； 所述检测质量块的外周上蚀刻有阻尼孔或阻尼槽，所述阻尼孔或阻尼槽不占用检测质量块 与差分电容极板的正对面积。
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