中国科学院上海技术物理研究所王林获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利基于笼目材料的光电探测器、制备方法、测试系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120322051B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510798528.6，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权基于笼目材料的光电探测器、制备方法、测试系统及方法是由王林;卫英东;张立波;胡震;胡伟达;陈效双设计研发完成，并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于笼目材料的光电探测器、制备方法、测试系统及方法在说明书摘要公布了：本发明属于光电探测技术领域，具体涉及基于笼目材料的光电探测器、制备方法、测试系统及方法。所述制备方法包括S1、设计仿真电磁场耦合天线，制作紫外光刻掩模版，绘制EBL曝光图形；S2、衬底裂片，紫外光刻工艺制备金属pad；S3、干法转移Kagome材料至衬底目标位置；S4、EBL微纳工艺制备源漏电极；S5、引线封装。本发明能够增强微波和太赫兹波段低能光子探测，降低器件噪声。
本发明授权基于笼目材料的光电探测器、制备方法、测试系统及方法在权利要求书中公布了：1.基于笼目材料的光电探测器制备方法，其特征在于，包括： S1、设计仿真电磁场耦合天线，制作紫外光刻掩模版，绘制EBL曝光图形； S2、衬底裂片，紫外光刻工艺制备金属pad； S3、干法转移Kagome材料至衬底目标位置； S4、EBL微纳工艺制备源漏电极； S5、引线封装； 所述Kagome材料为RbV3Sb5材料。
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