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东莞市台工电子机械科技有限公司王猛获国家专利权

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龙图腾网获悉东莞市台工电子机械科技有限公司申请的专利一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120318227B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510783893.X,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法及系统是由王猛;李兵设计研发完成,并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及图像数据处理技术领域,尤其涉及一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法及系统。方法包括:获取晶片表面图像的灰度图像;将灰度图像等分为若干个分块;确定分块的第一合格系数;获取分块内的边缘像素点;确定分块的第二合格系数;利用Naive层次聚类算法对灰度图像进行聚类,以识别灰度图像中的光滑区域,实现晶片表面的光滑度检测。本发明通过引入第一合格系数和第二合格系数,综合考虑了分块内的多个因素,能够更全面、细致地刻画分块的特征,从而有效区分不光滑区域和刻蚀纹理区域,减少了刻蚀纹理区域对不光滑区域判断的干扰,提高了聚类的准确性,从而更准确地识别不光滑区域,保证晶片表面光滑度检测的精度。

本发明授权一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法,其特征在于,包括: 获取晶片表面图像的灰度图像; 将灰度图像等分为若干个分块; 根据灰度图像内所有像素点的灰度值中的中位数、分块内的所有像素点的灰度值的均值,以及分块内所有像素点的灰度值中的众数值的数量,确定分块的第一合格系数,第一合格系数满足:;式中,为第个分块的第一合格系数,为灰度图像内所有像素点的灰度值中的中位数,为第个分块内的所有像素点的灰度值的均值,为第个分块内所有像素点的灰度值中的众数值的数量,为超参数,为绝对值符号; 将分块内在任一邻域方向存在梯度幅值变化的像素点记为边缘像素点; 响应于分块内包含边缘像素点,则根据所述第一合格系数、分块内边缘像素点的数量、分块内所有边缘像素点的最小外接矩形内像素点的数量,以及分块内所有边缘像素点对应的梯度幅值的信息熵值,确定分块的第二合格系数,否则,将分块的第一合格系数赋值于分块的第二合格系数; 第二合格系数满足:;式中,为第个分块的第二合格系数,为第个分块内边缘像素点的数量,为第个分块内所有边缘像素点的最小外接矩形内像素点的数量,为第个分块内所有边缘像素点对应的梯度幅值的信息熵值,为标准归一化函数; 将分块之间的第二合格系数的差异,作为Naive层次聚类算法在处理图像时分块之间的距离进行聚类,得到Naive层次聚类算法的树状图,以识别灰度图像中的光滑区域,实现晶片表面的光滑度检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东莞市台工电子机械科技有限公司,其通讯地址为:523170 广东省东莞市道滘镇创意东路8号2号楼801室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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