矽电半导体设备(深圳)股份有限公司林生财获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利开盒装置及下沉式开盒系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223333751U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422329618.4,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型开盒装置及下沉式开盒系统是由林生财;郑鹏设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本开盒装置及下沉式开盒系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种开盒装置及下沉式开盒系统,涉及半导体传送技术领域,开盒装置包括控制台,控制台包括升降板、中心转盘、解锁件和驱动机构。中心转盘可转动地安装在升降板上的通孔内,其顶面设置至少一个与转盘偏心设置的解锁件。驱动机构位于升降板远离解锁件的一侧,包括直线驱动件、滑块、滑轨、摆臂、曲柄和限位件。直线驱动件与滑轨固定于升降板,滑块沿滑轨滑动并与直线驱动件的伸缩端相连。滑块通过摆臂与曲柄转动连接,曲柄另一端固定于中心转盘。限位件包括起点限位块和终点限位块,用以控制滑块在滑轨上的移动范围。本实用新型设计了一套开盒装置,能够加快传送盒的放置与解锁过程,避免影响晶圆加工过程的可动率。
本实用新型开盒装置及下沉式开盒系统在权利要求书中公布了:1.一种开盒装置,其特征在于,包括控制台,所述控制台包括升降板、中心转盘、解锁件和驱动机构,所述升降板上开设有通孔,所述中心转盘转动安装于所述通孔中,所述中心转盘设置有至少一个所述解锁件,所述解锁件与所述中心转盘偏心设置,所述驱动机构设置于所述升降板远离所述解锁件的一侧; 所述驱动机构包括直线驱动件、滑块、滑轨、摆臂、曲柄和限位件,所述直线驱动件与所述滑轨固定安装于所述升降板,所述滑块与所述滑轨滑动连接,所述直线驱动件的伸缩端与所述滑块连接,所述滑轨的长度方向与所述伸缩端的运动方向相同,所述滑块远离所述升降板的一侧与所述摆臂的一端转动连接,所述摆臂的另一端与所述曲柄的一端转动连接,所述曲柄的另一端与所述中心转盘固定连接; 所述限位件包括起点限位块和终点限位块,所述起点限位块和所述终点限位块安装于所述升降板,所述滑块在所述起点限位块和所述终点限位块之间滑动。
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