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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118981147B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411065238.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法是由江浩;陈侃;刘佳敏;刘世元;崔雪;王威设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法在说明书摘要公布了：本申请属于光刻及神经网络领域，具体公开了一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法，包括：将待测套刻标记的物镜后焦面频域像做偏振差分，得到所述待测套刻标记对应的目标图像；将所述目标图像输入到训练完成的误差提取网络中，得到所述待测套刻标记的套刻误差值；其中，所述误差提取网络是基于训练样本和所述训练样本对应的识别标签进行训练得到的；所述训练样本是利用套刻标记的纳米结构形貌参数、材料光学常数结合预审测量条件，并通过已建立的套刻标记正向光学特性模型进行偏振得到的。通过本申请能够提高套刻误差提取的准确度。

本发明授权一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法在权利要求书中公布了：1.一种基于光学衍射的角分辨偏振散射套刻误差提取方法，其特征在于，包括： 将待测套刻标记的物镜后焦面频域像做偏振差分，得到所述待测套刻标记对应的目标图像； 将所述目标图像输入到训练完成的误差提取网络中，得到所述待测套刻标记的套刻误差值； 其中，所述误差提取网络是基于训练样本和所述训练样本对应的识别标签进行训练得到的；所述训练样本是利用套刻标记的纳米结构形貌参数、材料光学常数结合预设测量条件，并通过已建立的套刻标记正向光学特性模型进行偏振得到的； 所述识别标签是基于训练样本对应的套刻误差理论值确定的，所述套刻误差理论值的获取方法包括： 将套刻标记的纳米结构形貌参数、材料光学常数以及预设的测量条件代入至分振幅型检偏角分辨散射仪系统模型中，得到基于严格耦合波分析的套刻标记正向光学特性模型，并基于所述套刻标记正向光学特性模型对入射光进行分析，获取套刻误差的交叉极化物镜后焦面频域像； 根据所述纳米结构形貌参数和套刻标记正向光学特性模型，在预设偏差范围内对所述套刻标记的结构参数进行随机取值，得到交叉极化物镜后焦面频域像和套刻误差； 将所述交叉极化物镜后焦面频域像作为训练样本，将所述套刻误差作为理论提取值。

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