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龙图腾网获悉河北工业大学申请的专利一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118837412B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410797218.8，技术领域涉及：G01N27/22；该发明授权一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法是由夏文杰;何彬;吴锦昕;徐桂芝设计研发完成，并于2024-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法，所述湿度传感器包括电极片，电极片包括依次设置的聚二甲基硅氧烷薄膜、激光诱导石墨烯层和氧化石墨烯层；在激光诱导石墨烯层的两个端点分别设有接触位点；两条导线分别连接两个接触位点；偏聚二氟乙烯膜贴附于电极片的顶层作为封装层。所述制备方法通过等离子体射流氧化处理聚二甲基硅氧烷‑激光诱导石墨烯‑氧化石墨烯层后，得到电极片。等离子体射流氧化处理使石墨烯表面富含大量的含氧官能团，使石墨烯具有优异的亲水性，吸附更多的水分子，其作为湿度传感器的敏感层性能更好、稳定性更强、灵敏度更高。

本发明授权一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于等离子体处理的湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： S100、将聚酰亚胺薄膜贴附于玻璃基底上，使用激光诱导出石墨烯叉指电极，以形成激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层； S200、将激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层从玻璃基底上撕下贴附于模具内； S300、将聚二甲基硅氧烷溶液与固化剂混合，制备第一溶液； S400、将第一溶液倒入模具内干燥，得到聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层； S500、将聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层从模具内取出，去除聚酰亚胺层，得到聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯层； S600、在石墨烯叉指电极的顶层涂布氧化石墨烯水溶液、干燥，得到聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-氧化石墨烯层； S700、通过等离子体射流氧化处理聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-氧化石墨烯层后，得到电极片； 其中，等离子体射流氧化处理所使用的气体为氩气、乙醇和氧气的混合气体，等离子体处理过程中使用质量流量计控制氩气、乙醇和氧气三种气体的混合比例； 其中，氩气的流量为4000~6000体积流量单位、乙醇的流量为20~40体积流量单位、氧气的流量为2~4体积流量单位； 等离子体射流氧化所使用的射流装置包括： 氧气支路，所述氧气支路包括通过管路依次连接的氧气储存罐、第一质量流量计和等离子体产生器； 第一氩气支路，所述第一氩气支路包括通过管路依次连接的氩气储存罐、第二质量流量计和等离子体产生器； 第二氩气支路，所述第二氩气支路包括通过管路依次连接的乙醇蒸发器和第三质量流量计，乙醇蒸发器和第三质量流量计与所述第二质量流量计并联； 电源驱动单元，所述电源驱动单元与等离子体产生器连接； 其中，所述等离子体产生器包括从下至上依次连接的射流头、环形地电极、环形高压电极和气动接头； S800、将偏聚二氟乙烯膜贴附于电极片的顶层，得到湿度传感器。

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