上海哥瑞利软件股份有限公司李意龙获国家专利权
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龙图腾网获悉上海哥瑞利软件股份有限公司申请的专利一种半导体前道FDC数据处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116932577B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310908610.0,技术领域涉及:G06F16/245;该发明授权一种半导体前道FDC数据处理方法是由李意龙;马士凯;郑中;向彪;王文瑞设计研发完成,并于2023-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体前道FDC数据处理方法在说明书摘要公布了:本发明半导体生产技术领域,尤其涉及一种半导体前道FDC数据处理方法,包括如下步骤:获取外部条件信息;从RUN_CONTEXT表中查询得到相关的EQP_ID列表,记为EQP_LIST;得到每一个具体的EQP信息;从RUN_CONTEXT表中查询得到符合条件的一组履历数据;在RUN_DATA表中查询得到该CONTEXT_DATA对应的数据组TRACE_DATA;拼接所有SUB_SQL得到该FinalSQL;将FinalSQL传递给数据库执行得到SUMMARY_DATA,每个EQP_ID只需执行一个SQL,减少并发,降低服务器压力;只循环拼接SQL,中间不执行,效率大幅度提高,可实现断点续跑。
本发明授权一种半导体前道FDC数据处理方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体前道FDC数据处理方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤一,输入条件,获取外部条件信息; 步骤二,根据步骤一获得的外部条件信息,从RUN_CONTEXT表中查询得到相关的EQP_ID列表,记为EQP_LIST; 步骤三,遍历EQP_LIST,得到每一个具体的EQP信息; 步骤四,根据步骤三获得的EQP信息和条件信息,从RUN_CONTEXT表中查询得到符合条件的一组履历数据,记为CONTEXT_DATA_LIST; 步骤五,遍历CONTEXT_DATA_LIST,得到每一条具体的CONTEXT_DATA,在RUN_DATA表中查询得到该CONTEXT_DATA对应的数据组,记为TRACE_DATA,对该数据组进行特征值计算SQL编写,得到SUB_SQL; 步骤六,拼接所有SUB_SQL得到该EQP_ID特征值计算的一个整体FinalSQL; 步骤七,将FinalSQL传递给数据库执行,即可得到该EQP_ID在相关条件下的特征数据集SUMMARY_DATA; 所述步骤二中,从RUN_CONTEXT表中查询数据时,需要借助CONFIG_MAPPING表来确定相关字段; 所述步骤五具体包括如下五个小步骤: 步骤51,根据CONTEXT_DATA和RUN_DATA表中对应的字段,在RUN_DATA表中查询得到该CONTEXT_DATA对应的数据组,记为TRACE_DATA; 步骤52,根据CONFIG_MAPPING表确认该CONTEXT_DATA对应的EQP_ID的步骤字段STEP和所有参数字段PARAM_FIELDS; 步骤53,遍历PARAM_FIELDS,得到每一个具体PARAM_FIELD; 步骤54,根据PARAM_FIELD、EQP_ID、STEP字段,即可查询得到该参数的数据组; 步骤55,根据算法需要,对该数据组进行特征值计算SQL编写,得到SUB_SQL。
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