中国科学院上海光学精密机械研究所黄名山获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利防金属气体中毒的离子泵获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114823274B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210209536.9,技术领域涉及:H01J41/12;该发明授权防金属气体中毒的离子泵是由黄名山;汪斌;唐爽设计研发完成,并于2022-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本防金属气体中毒的离子泵在说明书摘要公布了:一种防金属气体中毒的离子泵,在所述的离子泵的输出连接管道内增设一个防止离子泵污染的设计。本发明不仅可以大大减少进入到泵体的金属气体,并且对离子泵的抽速没有显著影响,从而达到了对离子泵的隔离保护,延长离子泵使用寿命,降低离子泵离子流本底的作用。另一方面,减少溅射离子泵工作时产生的杂质粒子进入目标真空系统中,可以使得目标区域真空度达到更高。本装置结构简单,易于实现,可作为需要超高真空度实验系统的抽气离子泵装置。
本发明授权防金属气体中毒的离子泵在权利要求书中公布了:1.一种防金属气体中毒的离子泵,其特征是在所述的离子泵的输出连接管道内增设一个防止离子泵污染的结构,该结构是在所述的连接管道内通过真空法兰、金属底座和金属圆环固定放置两组以上的多孔结构挡片,所述的多孔结构挡片是由圆形多孔结构在半径方向挖去几个弧形梯状孔而成,两组以上多孔结构挡片在固定时,保持多孔结构的弧形梯状孔位置不直接对准,进行错位放置,使得碱金属气体不能直接通过小孔进入离子泵内部。
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