上海普达特半导体设备有限公司黄允文获国家专利权
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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利一种环形分布式半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446837B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210166130.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种环形分布式半导体设备是由黄允文;刘二壮;刘枫;蔡斌;刘涛设计研发完成，并于2022-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种环形分布式半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种环形分布式半导体设备，包括具有中转台的前端模块，具有多个反应腔且与中转台呈环形分布的反应腔模块，以及位于环形分布的内部的传输模块，且传输模块包括旋转件，旋转件上安装有机械手臂，通过旋转件的旋转运行，将晶圆在中转台及反应腔内进行传输。本发明的环形分布式半导体设备可提高半导体设备的操作便捷性及适用性，简化半导体设备的布局、减小设备尺寸、降低设备成本、实现同时处理多个工艺腔体内的晶圆传取放操作，使得半导体设备的多腔处理能力大大加强，产能大大提高。
本发明授权一种环形分布式半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种环形分布式半导体设备，其特征在于，所述半导体设备包括： 前端模块，所述前端模块包括中转台，所述中转台为移动式中转台，通过所述移动式中转台的运行，所述移动式中转台兼具完成前端的晶圆传输过程以及中端的晶圆中转过程；或所述前端模块还包括前端晶圆传输模块，所述前端晶圆传输模块包括装载台，所述装载台直接作为所述中转台使用； 反应腔模块，所述反应腔模块包括多个反应腔，且多个所述反应腔及所述中转台呈环形分布，且在所述环形分布中，所述反应腔及所述中转台为等间距分布； 传输模块，所述传输模块位于所述环形分布的内部，且所述传输模块包括旋转件，所述旋转件周向上安装有M个机械手臂，M＞2，通过所述旋转件的绕心旋转运行，将晶圆在所述中转台及所述反应腔内进行传输，且带动位于所述旋转件上的所述机械手臂旋转运行，且M个所述机械手臂的安装位置与所述反应腔及所述中转台的位置相对应，以对多片晶圆进行同时传输，包括传、取、放的过程。
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