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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334754B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111676813.9，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统是由张冬峰;叶莹;祝佳辉设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆装载机的晶圆装载盒解锁开门的系统，包括晶圆装载机的机架，在机架上开设交接口，且设置开门装置，开门装置包括取放组件、解锁组件和交接板，取放组件与交接板固定连接，交接板与交接口对应设置，同时交接板与晶圆装载盒的密封门对接，在交接板上设置解锁组件，通过解锁组件将晶圆装载盒的密封门与盒体解锁，取放组件通过驱动交接板与交接口的开合，进而实现通过交接口取放晶圆装载盒的密封门。通过取放组件和解锁组件的结合，限定开门装置的运动路线，减少运动自由度，将需要三个驱动件完成的功能缩减为两个，简化空间结构，控制简单，提高晶圆载入动作的可靠性，实现了晶圆装载盒的密封门取放机构的模块化设计。

本发明授权一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统，包括晶圆装载机的机架，其特征在于：在所述机架上设置有装载台并开设交接口，且设置开门装置，所述开门装置包括取放组件、解锁组件和交接板，所述取放组件包括脊板，所述脊板固定设置在机架上，且所述脊板上活动连接有脊杆，所述取放组件还包括驱动件，驱动件的两端分别与装载台的底部和脊杆铰接，所述交接板与脊杆固定连接，且所述交接板与交接口对应设置，同时交接板与晶圆装载盒的密封门对接，所述交接板上设置解锁组件，所述解锁组件能将晶圆装载盒的密封门与盒体解锁，取放组件通过驱动交接板实现与交接口的开合，并通过交接口取放晶圆装载盒的密封门； 所述脊板上开设滑槽，滑槽包括直滑槽部和弧滑槽部，所述直滑槽部和弧滑槽部通过过渡圆滑槽平滑连接，脊杆的中部设置导向轴，所述导向轴上安装有滚动轴承，所述滚动轴承沿所述脊板上的滑槽内壁滚动，在驱动件的驱动作用下，通过直滑槽部对导向轴的导向作用，约束脊杆在上下运动过程中的摆动自由度，通过弧滑槽部对导向轴的导向作用，脊杆带动交接板一起摆动，完成相对交接口的开合。

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