川宝科技股份有限公司张鸿明获国家专利权
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龙图腾网获悉川宝科技股份有限公司申请的专利决定基板的转向的方法与曝光机台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114815512B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110130508.3,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权决定基板的转向的方法与曝光机台是由张鸿明设计研发完成,并于2021-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本决定基板的转向的方法与曝光机台在说明书摘要公布了:一种决定基板的转向的方法与曝光机台,该方法包含:将基板放置并定位于承载面上,使基板的第二表面面向承载面,基板的第一表面背向承载面且基板的第二表面上的第二标记对应于固定的第二图像捕获设备。通过承载面上方的第一图像捕获设备寻找第一表面上的第一标记并采集第一标记的第一图像,以及通过第二图像捕获设备采集第二标记的第二图像。翻转基板并放置于承载面上,使基板的第一表面面向承载面,且第一标记对应于第二图像捕获设备。基于采集的第一图像,第二图像捕获设备确认第一标记,以及基于采集的第二图像,第一图像捕获设备寻找并确认第二标记。基于确认的第一标记与确认的第二标记,决定翻转后的基板的第二表面在承载面的投影的转向。
本发明授权决定基板的转向的方法与曝光机台在权利要求书中公布了:1.一种决定基板的转向的方法,其中,该基板包含彼此相对的一第一表面与一第二表面以及一第一标记与一第二标记,该第一标记位于该第一表面上,且该第二标记位于该第二表面上,并且该第一标记与该第二标记彼此并非相对,上述方法包含: 提供一承载台、一第一图像捕获设备与一第二图像捕获设备,其中该承载台具有彼此相对的一承载面与一背面,该第一图像捕获设备配置于该承载面上方且适于相对于该承载台作移动,并且该第二图像捕获设备固定于该背面上; 将该基板放置并定位于该承载面上,使得该基板的该第二表面面向该承载面,该基板的该第一表面背向该承载面,且该第二标记对应于该第二图像捕获设备; 通过该第一图像捕获设备寻找该第一标记并采集该第一标记的一第一图像; 通过该第二图像捕获设备采集该第二标记的一第二图像; 翻转该基板并将该基板放置于该承载面上,使得该基板的该第一表面面向该承载面,该基板的该第二表面背向该承载面,且该第一标记对应于该第二图像捕获设备; 基于所采集的该第一图像,该第二图像捕获设备确认该第一标记; 基于所采集的该第二图像,该第一图像捕获设备寻找并确认该第二标记; 基于该第二图像捕获设备所确认的该第一标记与该第一图像捕获设备所确认的该第二标记,决定翻转后的该基板的该第二表面在该承载面的一投影的该转向。
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