东京毅力科创株式会社金子翔太获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利监视系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112786434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011180793.1，技术领域涉及：H01L21/00；该发明授权监视系统是由金子翔太;大野繁实;相良典秀设计研发完成，并于2020-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本监视系统在说明书摘要公布了：本发明提供监视用壳体将基片处理装置密闭、将上述密闭的空间用规定的气体气氛充满的密闭装置的监视系统，其包括：将上述壳体与上述基片处理装置之间的空间中的、人能够进入的区域作为检测区域的激光传感器；和控制装置，其基于上述激光传感器的检测结果对上述基片处理装置或上述密闭装置输出控制信号，或者输出基于上述检测结果的通知信号。本发明用壳体将基片处理装置密闭，来提高用规定的气体气氛充满密闭的空间的密闭装置的安全性。
本发明授权监视系统在权利要求书中公布了：1.一种监视系统，其特征在于： 所述监视系统是监视用壳体将基片处理装置密闭、将所述密闭的空间用规定的气体气氛充满的密闭装置的监视系统，所述壳体具有覆盖所述基片处理装置的上表面的上表面部、以及包围四侧面的正面部、第一侧面部、背面部和第二侧面部，所述监视系统包括： 将所述壳体与所述基片处理装置之间的空间中的、人能够进入的区域作为检测区域的第一激光传感器和第二激光传感器；和 控制装置，其基于所述激光传感器的检测结果对所述基片处理装置或所述密闭装置输出控制信号，或者输出基于所述检测结果的通知信号， 所述第一激光传感器和所述第二激光传感器以从底面起100～300mm的高度配置在所述壳体的俯视时位于对角线上的角部， 所述第一激光传感器构成为以将所述正面部和所述第一侧面部之间的区域作为所述检测范围的旋转角度照射激光束， 所述第二激光传感器构成为以将所述背面部和所述第二侧面部之间的区域作为所述检测范围的旋转角度照射激光束。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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