ASML荷兰有限公司M·A·T·范欣斯贝格获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于确定光刻设备的控制数据的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114746810B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080080972.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于确定光刻设备的控制数据的方法和设备是由M·A·T·范欣斯贝格;J·R·唐斯;E·J·M·弗杜门;J·F·F·克林坎梅尔;R·沃克曼;J·S·维尔登贝尔格;A·J·尤班茨约克;L·J·J·维泽设计研发完成，并于2020-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于确定光刻设备的控制数据的方法和设备在说明书摘要公布了：一种用于确定输入的方法，该输入被输入至透镜模型，以在对衬底的多个场中的至少一个场进行寻址时，确定针对光刻设备的透镜的操纵的设定值，所述方法包括：接收针对至少一个场的参数数据，该参数数据与衬底的在至少一个场内的一个或多个参数有关，该一个或多个参数至少部分地对透镜的操纵敏感，透镜的操纵作为通过光刻设备执行的曝光的一部分；接收与透镜相关的透镜模型数据；基于参数数据和透镜模型数据确定输入。
本发明授权用于确定光刻设备的控制数据的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于确定输入的方法，所述输入被输入至透镜模型，以在对衬底的多个场中的至少一个场进行寻址时，确定针对光刻设备的透镜的操纵的设定值，所述方法包括： 接收针对所述至少一个场的参数数据，所述参数数据与所述衬底的在所述至少一个场内的一个或多个参数相关，所述一个或多个参数至少部分地对所述透镜的操纵敏感，所述透镜的操纵作为通过所述光刻设备执行的曝光的一部分； 接收与所述透镜相关的透镜模型数据； 基于所述参数数据和所述透镜模型数据，确定所述输入。
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