三井金属矿业株式会社寺村享祐获国家专利权
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龙图腾网获悉三井金属矿业株式会社申请的专利溅射靶及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114651086B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078115.6，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权溅射靶及其制造方法是由寺村享祐设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射靶及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及能够将翘曲了的圆筒形基材用作构成材料的溅射靶及其制造方法，提供一种新型的溅射靶的制造方法，其中，即使圆筒形靶材的轴向长度较长，或者即使经过接合材料填充时的加热，也能够消除圆筒形基材的翘曲。本发明提出了一种溅射靶的制造方法，其特征在于，测定圆筒形基材的翘曲幅度，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向翘曲的加工，在上述加工后的圆筒形基材的外侧，沿轴向隔开间隔地排列配置多个圆筒形靶材，用接合材料将上述圆筒形基材与上述圆筒形靶材接合。
本发明授权溅射靶及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种溅射靶的制造方法，其特征在于，其是具备圆筒形基材和圆筒形靶材的溅射靶的制造方法，所述溅射靶的制造方法包含下述工序： 测定圆筒形基材的翘曲幅度的测定工序， 进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向反过来翘曲的加工以达到该圆筒形基材从直线轴翘曲的状态的加工工序， 在所述加工后的圆筒形基材的外侧，沿轴向隔开间隔地排列配置多个圆筒形靶材，用接合材料将该圆筒形基材与所述圆筒形靶材接合， 在所述测定工序中，在加热了所述圆筒形基材后，测定加热后的圆筒形基材的翘曲幅度Y， 在所述加工工序中，在所述测定工序中测得了翘曲幅度Y的情况下，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向反过来仅翘曲Y×0.50～1.50的幅度的加工以达到该圆筒形基材从直线轴翘曲的状态。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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