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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利利用无金属配体的金属原子层蚀刻及沉积设备和处理获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113316839B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080009348.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权利用无金属配体的金属原子层蚀刻及沉积设备和处理是由张贺;金润祥;彭东羽设计研发完成，并于2020-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本利用无金属配体的金属原子层蚀刻及沉积设备和处理在说明书摘要公布了：一种用于进行金属ALE处理以蚀刻衬底的表面的ALE系统包含：处理室、衬底支撑件、热源、输送系统和控制器。衬底支撑件被设置于所述处理室中且支撑所述衬底。所述输送系统将配体或有机物质供给至所述处理室中。所述控制器控制所述输送系统与所述热源以进行各向同性金属ALE处理，所述各向同性金属ALE处理包含：在所述各向同性金属ALE处理的重复期间，进行原子吸附与脉冲热退火；在所述原子吸附期间，将所述表面暴露于所述配体或所述有机物质，其中所述配体或所述有机物质并无金属前体且被选择性地吸附以在所述表面中形成金属络合物；以及在所述脉冲热退火期间，脉冲所述热源多次以从所述衬底移除所述金属络合物。

本发明授权利用无金属配体的金属原子层蚀刻及沉积设备和处理在权利要求书中公布了：1.一种原子层蚀刻系统，其用于进行金属原子层蚀刻处理以蚀刻衬底的表面，所述原子层蚀刻系统包含： 配置为供给配体的源，其中所述配体包括乙酰丙酮Hacac、三氟乙酰丙酮、六氟乙酰丙酮、二新戊酰甲烷、新戊酰三氟丙酮、二苯甲酰甲烷、4,4,4-三氟-1-苯基-1,3-丁二酮、4,4-二氟-1-苯基-1,3-丁二酮、4,4,4-三氟-1-2-噻吩基-1,3-丁二酮或4,4,4-三氟-1-2-呋喃基-1,3-丁二酮； 处理室； 衬底支撑件，其被设置于所述处理室中且被配置成支撑所述衬底； 第一热源； 输送系统，其被配置成将所述配体供给至所述处理室中；以及 控制器，其被配置成控制所述输送系统与所述第一热源以进行各向同性金属原子层蚀刻处理，所述各向同性金属原子层蚀刻处理包含： 在所述各向同性金属原子层蚀刻处理的重复期间，进行预处理过程、原子吸附与脉冲热退火； 在所述衬底的所述表面的所述预处理完成时进行所述原子吸附， 在所述原子吸附期间，将所述衬底的所述表面暴露于所述源供给的所述配体，其中所述源供给的所述配体无金属前体且被选择性地吸附以在所述衬底的所述表面中形成金属络合物，并且其中所述金属络合物是在不引入金属前体的情况下形成的；以及 在所述脉冲热退火期间，脉冲所述第一热源使其开关多次以从所述衬底移除所述金属络合物。

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