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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利一种沉积设备及衬底测速方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118979300B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411000009.2，技术领域涉及：C30B25/08；该发明授权一种沉积设备及衬底测速方法是由于计划;卞达开;王传道设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种沉积设备及衬底测速方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种沉积设备及衬底测速方法，沉积设备包括反应腔室和线型激光器；反应腔室包括反应腔，反应腔内可转动设置有托盘组件；线型激光器设置于衬底的上侧，向衬底的边缘和托盘组件发出入射光以形成照射区域，并接收反射光。本发明中的沉积设备通过线型激光器检测衬底转速，可以较为精确地识别到衬底的转动情况，对于不同形状的衬底只要其具有变径段就可以实现检测衬底转速，具有较好的兼容性；本发明的沉积设备无需在相关转动结构上增加其他结构，不会对反应腔室中的热场和流场产生影响，在实现检测衬底转速的同时，保证了外延薄膜的均匀性。

本发明授权一种沉积设备及衬底测速方法在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，包括反应腔室和线型激光器； 所述反应腔室包括反应腔，所述反应腔内可转动设置有托盘组件以带动衬底转动，所述衬底的边缘包括圆弧段和与所述圆弧段的半径不相等的变径段； 所述线型激光器设置于所述衬底的上侧，所述线型激光器向所述衬底的边缘和所述托盘组件发出入射光以形成照射区域，并接收反射光，所述照射区域至所述衬底转动中心的最大距离大于所述变径段的最小半径，所述照射区域至所述衬底转动中心的最小距离小于所述圆弧段的半径，所述线型激光器由多个点激光以直线形式排列而成，以对于所述照射区域中的所述衬底和所述托盘组件进行测距，入射光照射范围覆盖所述衬底边缘和所述托盘组件上围绕所述衬底边缘的部分；所述线型激光器的所有点激光测得的距离数据形成距离数据组，每个所述距离数据组包括线型激光器的各个点激光在同一时间测得的距离数据；所述距离数据组中的所有距离数据经过第一运算得到第一参考值；所述第一参考值随转动时间变化而变化的第一函数关系，被用于确定所述衬底的转动周期以确定所述衬底的转速。

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