南京邮电大学朱刚毅获国家专利权
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龙图腾网获悉南京邮电大学申请的专利一种基于氧化铪/氧化锌射频开关的移相器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118825582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410956326.5，技术领域涉及：H01P1/18；该发明授权一种基于氧化铪/氧化锌射频开关的移相器及其制备方法是由朱刚毅;宋阳;张天宇;沈业辉;徐荣青;沈光煦;秦飞飞设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于氧化铪/氧化锌射频开关的移相器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于氧化铪氧化锌射频开关的移相器及其制备方法，移相器以硅基晶片为载体，以金属铂和金属银作为射频开关器件的电极层，用以氧化铪作为射频开关的阻变材料，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、镍层、铂层、氧化铪层、银层、氮化钛层、镍层、铜层，串联多个相同长度传输线的射频开关，并对串联后的结构设计一个控制电路，用于生成并发送控制信号，实现移相器进行多相位移动的功能。本发明在硅衬底上利用光刻工艺和PVD磁控溅射镀膜工艺制备移相器，制备方法工艺简单，成本低。制备的移相器具有优异的性能和良好的应用前景。
本发明授权一种基于氧化铪/氧化锌射频开关的移相器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于氧化铪氧化锌射频开关的移相器，其特征在于，该移相器以硅基晶片为载体，采用了铂-氧化铪-银的开关结构；其中铂-氧化铪-银的开关结构包括从下至上依次设置的硅衬底层（1）、氮化铝层（2）、镍层（3）、铂层（4）、氧化铪层（5）、银层（6）、氮化钛层（7），镍层（8）、铜层（9）。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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