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东莞市中晶半导体科技有限公司赵龙获国家专利权

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龙图腾网获悉东莞市中晶半导体科技有限公司申请的专利转移载板及基于光波导的芯片筛选转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115483147B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211121892.1,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权转移载板及基于光波导的芯片筛选转移方法是由赵龙;刘丹丹;黄灿强;黄杰勤设计研发完成,并于2022-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

转移载板及基于光波导的芯片筛选转移方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种转移载板,用于可选择地转移芯片,转移载板的第一面上设有光敏胶层并包括光波导片,光波导片的出光面上具有若干可输出预设光且独立可控的出光位置,转移载板的第一面设有对预设光敏感的光敏胶层,出光位置输出的预设光从转移载板的第一面照射至光敏胶层,并改变光敏胶层的粘结力。本发明还公开了一种芯片筛选方法,先将转移载板的第一面通过光敏胶层与芯片远离承载基板的一面粘接,再控制光波导片上选择的出光位置输出预设光以改变对应芯片处光敏胶层的粘结力,使第一胶层与光敏胶层的粘结力大小反转,将转移载板的第一面与承载基板分离后,即可筛选转移芯片。可用于高精度、尺寸小的芯片筛选、转移,且转移效率高。

本发明授权转移载板及基于光波导的芯片筛选转移方法在权利要求书中公布了:1.一种转移载板,用于可选择地转移芯片,其特征在于:所述转移载板包括光波导片,所述光波导片的一表面为出光面,所述出光面上具有若干可输出预设光且独立可控的出光位置,所述出光位置与承载基板上芯片位置对应,所述转移载板的第一面设有对所述预设光敏感的光敏胶层,所述转移载板通过所述光敏胶层与所述芯片粘接,所述出光位置输出的所述预设光从所述转移载板的第一面照射至所述光敏胶层,并改变所述光敏胶层的粘结力; 所述光波导片包括导光板、光波导耦合器和矩阵光源,所述导光板内具有进行光传导的光波导结构,所述导光板的出光面具有耦入区域和出光区域,所述光波导耦合器设置在所述耦入区域,若干的所述出光位置位于所述出光区域,所述光波导结构内具有互不干扰的光波导线路,每一光波导线路对应一个出光位置,以通过互不干扰光波导线路进行出光位置的独立可控,所述矩阵光源上具有若干个光源输出点并向所述耦入区域输出所述预设光,所述预设光经所述光波导耦合器和所述光波导结构输出至对应的所述出光位置处。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东莞市中晶半导体科技有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市企石镇科技工业园;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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