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龙图腾网获悉中国科学院大学;中国科学院半导体研究所申请的专利一种检测生产工况下金属薄板微缺陷的微纳器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115541067B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211012250.8，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权一种检测生产工况下金属薄板微缺陷的微纳器件是由魏丙坤;王晓东;刘文立;朱银芳;杨晋玲;倪明玖设计研发完成，并于2022-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种检测生产工况下金属薄板微缺陷的微纳器件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种检测生产工况下金属薄板微缺陷的微纳器件，包括微纳器，所述微纳器包括壳体，壳体的上部为安装口，壳体内底部设置有印刷电路板，所述壳体内两侧对称设置有衬垫，所述衬垫下端与印刷电路板相连，对应安装口位置的壳体另外两侧内对称设置有弹簧梁组件，两个弹簧梁组件之间共同水平固装一质量块，实施质量块的中心处制有凹槽，用于限位安装有永磁体，所述质量块相对衬板两侧中部等间距排列有可移动平行极板，所述可移动平行极板、质量块和永磁铁构成活动体，且衬垫相对侧壁上等间距排列有固定平行极板，固定平行极板另一端穿插在所述可移动平行极板的间隔中。本发明可以对在生产工况下对金属薄板的微缺陷进行检测、且检测精度高。

本发明授权一种检测生产工况下金属薄板微缺陷的微纳器件在权利要求书中公布了：1.一种检测生产工况下金属薄板微缺陷的微纳器件，包括微纳器，所述微纳器设置于运动状态的被测金属薄板的下方；所述微纳器用于固定有永磁体，被测金属薄板与永磁体相对运动，实现微纳器对被测金属薄板进行检测，其特征在于：所述微纳器包括壳体、质量块、可移动平行极板、固定平行极板、衬垫以及弹簧梁组件，所述壳体的上部为安装口，壳体内底部设置有印刷电路板，所述壳体内两侧对称设置有衬垫，所述衬垫下端与印刷电路板相连，对应安装口位置的壳体另外两侧内对称设置有弹簧梁组件，两个弹簧梁组件之间共同水平固装一质量块，实现质量块位于壳体的安装口的正中心位置，且质量块的中心处制有凹槽，用于限位安装有永磁体，所述质量块相对衬板两侧中部等间距排列有可移动平行极板，所述可移动平行极板、质量块和永磁铁构成活动体，且衬垫相对侧壁上等间距排列有固定平行极板，固定平行极板另一端穿插在所述可移动平行极板的间隔中；活动体受到洛伦兹力带动可移动平行极板与固定平行极板之间发生位移，形成电容变化。

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