季华实验室唐卓睿获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种感应线圈螺距调节装置、系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114938549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210749237.4，技术领域涉及：H05B6/40；该发明授权一种感应线圈螺距调节装置、系统及方法是由唐卓睿;孔倩茵;戴科峰;仇礼钦;王鑫;毛朝斌;谢利华设计研发完成，并于2022-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种感应线圈螺距调节装置、系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造设备技术领域，具体提供了一种感应线圈螺距调节装置、系统及方法，其中，装置包括：距离调节组件，具有两个调节臂，所述调节臂用于调节每匝所述感应线圈之间的螺距；第一水平驱动组件，与所述距离调节组件连接，用于驱动所述距离调节组件沿平行于所述感应线圈的螺旋轴心线的方向位移；竖直驱动组件，与所述第一水平驱动组件连接，用于驱动所述第一水平驱动组件沿所述感应线圈的径向的方向位移，以使所述距离调节组件朝向或背离所述感应线圈的螺旋轴心线位移；该装置无需通过手工测量试错的方式对螺距进行调节并有效地降低调节感应线圈的螺距的人力成本。
本发明授权一种感应线圈螺距调节装置、系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种感应线圈螺距调节装置，用于调节螺旋设置在反应腔（5）外的感应线圈（6）的螺距，其特征在于，所述感应线圈螺距调节装置包括： 距离调节组件（1），具有两个调节臂（11），所述调节臂（11）用于调节每匝所述感应线圈（6）之间的螺距； 第一水平驱动组件（2），与所述距离调节组件（1）连接，用于驱动所述距离调节组件（1）沿平行于所述感应线圈（6）的螺旋轴心线的方向位移； 竖直驱动组件（3），与所述第一水平驱动组件（2）连接，用于驱动所述第一水平驱动组件（2）沿所述感应线圈（6）的径向的方向位移，以使所述距离调节组件（1）朝向或背离所述感应线圈（6）的螺旋轴心线位移； 所述感应线圈螺距调节装置还包括旋转组件（7），所述旋转组件（7）与所述第一水平驱动组件（2）连接，所述旋转组件（7）用于驱动所述第一水平驱动组件（2）旋转，所述旋转组件（7）的旋转轴心在所述感应线圈（6）的螺旋轴心线上。
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