住友重机械离子科技株式会社石桥和久获国家专利权
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龙图腾网获悉住友重机械离子科技株式会社申请的专利离子注入装置及模型生成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113363128B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110238943.8，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权离子注入装置及模型生成方法是由石桥和久;工藤哲也;山口干夫设计研发完成，并于2021-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入装置及模型生成方法在说明书摘要公布了：本发明评价离子束的物理量的测定的妥当性。离子注入装置10具备：射束生成装置，根据注入配方生成离子束；多个测定装置，测定离子束的至少一个物理量；及控制装置60，获取包含通过多个测定装置测定的多个测定值的数据集，使用表示多个测定值的相关关系的模型，评价离子束的至少一个物理量的测定的妥当性。
本发明授权离子注入装置及模型生成方法在权利要求书中公布了：1.一种离子注入装置，其特征在于，具备： 射束生成装置，根据注入配方生成离子束； 多个测定装置，测定所述离子束的射束电流；及 控制装置，获取包含通过所述多个测定装置测定的多个测定值的数据集，使用预先构建的表示与在所述注入配方中所确定的至少一个注入参数的所述多个测定值之间的相关关系的模型，评价所述离子束的所述射束电流的测定的妥当性， 所述至少一个注入参数为离子种类、射束能量、射束电流、射束尺寸、晶圆倾斜角、晶圆扭转角以及平均剂量中的任一个。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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