东京毅力科创株式会社郑俊泳获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利隔挡部件及基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113013012B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011456572.2,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权隔挡部件及基板处理装置是由郑俊泳;佐佐木良设计研发完成,并于2020-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本隔挡部件及基板处理装置在说明书摘要公布了:提供一种对隔挡部件的破损进行抑制的隔挡部件及基板处理装置。该隔挡部件包括:内圈部;外圈部,相对于所述内圈部设置在外侧;以及连接部,将所述内圈部与所述外圈部连接,其中,所述连接部具有:圆弧形状的开口,在径向和周向上布置有多个,并且在所述周向上延伸;刚体部,形成于在相同周圈上相邻的所述开口之间;以及壁部,形成于在所述径向上相邻的所述开口之间,并且将一个所述刚体部与另一个所述刚体部连接。
本发明授权隔挡部件及基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种隔挡部件,包括: 内圈部; 外圈部,相对于所述内圈部设置在外侧;以及 连接部,将所述内圈部与所述外圈部连接, 其中,所述连接部具有: 多个圆弧形状的开口,布置在径向和周向上,并且在所述周向上延伸; 多个刚体部,形成于在相同周圈上相邻的所述开口之间;以及 多个壁部,形成于在所述径向上相邻的所述开口之间,并且将一个所述刚体部与另一个所述刚体部连接, 所述刚体部的周向宽度越靠近所述径向的外侧越宽, 在所述径向上相邻的一个所述壁部的周向长度与另一个所述壁部的周向长度相等。
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