东京毅力科创株式会社河村浩司获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置和电极消耗量测定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112992638B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011329429.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置和电极消耗量测定方法是由河村浩司设计研发完成，并于2020-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置和电极消耗量测定方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体处理装置和电极消耗量测定方法，能够不打开腔室地高精度地测定上部电极的消耗量。等离子体处理装置100具有相向的喷淋头16和载置台2。第一RF电源10a对喷淋头16和载置台2中的任一电极以不使等离子体点火的方式施加RF功率。测定器204测定与从第一射频电源10a施加的RF功率有关的物理量。工艺过程控制器91将测定出的与RF功率有关的物理量用于喷淋头16与载置台2之间的电极间距离同与RF功率有关的物理量的相关函数中，来求出电极间距离。
本发明授权等离子体处理装置和电极消耗量测定方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，具有相向的第一电极和第二电极，所述等离子体处理装置的特征在于，具备： 功率施加部，其对所述第一电极和所述第二电极中的任一电极以不使等离子体点火的方式施加射频功率； 测定部，其测定与从所述功率施加部施加的所述射频功率有关的物理量；以及 计算部，其将测定出的与所述射频功率有关的物理量用于所述第一电极与所述第二电极之间的电极间距离同与所述射频功率有关的物理量的相关函数中，来求出所述电极间距离， 其中，与所述射频功率有关的物理量为射频电压、射频电流、射频功率与射频电流的相位差、以及阻抗中的至少一方， 其中，所述计算部变更将具有规定厚度的基准电极用作了所述第一电极的情况下的所述基准电极与所述第二电极之间的所述电极间距离并测量作为基准的与射频功率有关的物理量，求出表示多个所述电极间距离同所述作为基准的与射频功率有关的物理量的关系的相关函数。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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