FEI 公司A·亨斯特拉获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利六阶及以上校正STEM多极校正器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112837983B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011306965.5，技术领域涉及：H01J37/10；该发明授权六阶及以上校正STEM多极校正器是由A·亨斯特拉;P·C·泰梅杰尔;M·尼斯塔特设计研发完成，并于2020-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本六阶及以上校正STEM多极校正器在说明书摘要公布了：六阶及以上校正STEM多极校正器。根据本公开，用于校正带电粒子显微镜系统中的粒子光学透镜的轴向像差的校正器包含：第一初级多极，当将第一激励施加到所述第一初级多极时，所述第一初级多极产生第一初级多极场；以及第二初级多极，当将第二激励施加到所述第二初级多极时，所述第二初级多极产生第二初级多极场。所述第一初级多极并未被成像到所述第二初级多极上，从而产生了组合四阶像差。所述校正器进一步包含用于校正所述四阶像差和六阶像差的次级多极。此类校正器可以进一步包含用于校正八阶像差的三级多极。
本发明授权六阶及以上校正STEM多极校正器在权利要求书中公布了：1.一种用于校正带电粒子系统中的轴向像差的校正器，所述校正器包括： 第一初级多极，当将第一激励施加到所述第一初级多极时，所述第一初级多极产生第一初级多极场； 第二初级多极，当将第二激励施加到所述第二初级多极时，所述第二初级多极产生第二初级多极场，其中当在所述带电粒子系统中使用时，所述第二初级多极定位在所述第一初级多极与作为球面像差来源的透镜之间，其中所述第一初级多极未被成像到所述第二初级多极上，从而产生了组合四阶像差；以及 次级多极，所述次级多极用于校正所述四阶像差和六阶像差，其中当在所述带电粒子系统中使用时，所述次级多极定位在所述第二初级多极与所述透镜之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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