深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种承载装置及检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114388419B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011114088.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种承载装置及检测设备是由陈鲁;邓曾红;黄有为设计研发完成，并于2020-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载装置及检测设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种承载装置，该承载装置包括承载盘，该承载盘用于承载待承载对象，该承载盘具有承载面，且承载盘设有排气孔，排气孔与外界连通，该排气孔用于排除承载面与待承载对象之间的至少部分气体；该排气孔设置在承载面的中心区域，且排气孔在承载面的正投影位于承载面的中心区域内。通过以上设置，可以有效排出承载面与待承载对象之间的中心区域的气体，使得中心区域与其他区域尤其是边缘区域的气压保持一致，防止被承载对象发生形变。
本发明授权一种承载装置及检测设备在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，包括可转动的承载盘，所述承载盘用于承载待承载对象，所述承载盘具有承载面，其特征在于，所述承载盘设有排气孔，所述排气孔与大气连通，所述排气孔用于排出所述待承载对象与所述承载面之间的至少部分气体； 所述排气孔设置在所述承载盘的中心区域；且所述排气孔在所述承载面的正投影位于所述承载面的中心区域内； 所述排气孔包括第一排气孔，所述第一排气孔的通气尺寸可调节；当承载装置转动速度重新设置时，调整第一排气孔的通气尺寸，以保持承载面与承载对象之间的中心区域和边缘区域的气压一致； 所述承载盘的中心区域设有一凹槽，所述承载装置还包括调整件，所述调整件设于所述凹槽内，且所述调整件相对于所述承载盘转动； 所述调整件设有第一通孔，所述承载盘设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，所述第一排气孔包括相对设置的所述第一通孔和所述第二通孔。
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