台湾积体电路制造股份有限公司唐存正获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利缺陷检验的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112666791B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011015575.2，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权缺陷检验的方法是由唐存正;张浩铭;许盛昌;林政旻设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷检验的方法在说明书摘要公布了：本发明实施例涉及缺陷检验的方法。根据本发明的一些实施例，一种缺陷检验方法包含：接收具有多个图案的衬底；获得所述衬底的灰度图像，其中所述灰度图像包含多个区，且所述区中的每一者具有灰度值；比较每一区的所述灰度值与灰度参考以定义第一群组、第二群组及第N群组，其中所述第一群组、所述第二群组及所述第N群组中的每一者具有至少一区；执行计算以获得得分；及当所述得分大于一个值时，确定所述衬底具有ESD缺陷，且当所述得分小于所述值时，确定所述衬底不具有所述ESD缺陷。
本发明授权缺陷检验的方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检验方法，其包括： 接收具有表面及放置于所述表面上的多个图案的衬底； 获得所述衬底的灰度图像，其中所述灰度图像包括多个区，且所述区中的每一者具有灰度值； 比较每一区的所述灰度值与灰度参考以定义第一群组、第二群组及第N群组，其中所述第一群组、所述第二群组及所述第N群组中的每一者具有至少一区，且所述第一群组中的所述区具有其灰度值与所述灰度参考之间的第一差异，所述第二群组中的所述区具有其灰度值与所述灰度参考之间的第二差异，且所述第N群组中的所述区具有其灰度值与所述灰度参考之间的第N差异； 根据所述第一差异、所述第二差异及所述第N差异执行计算以获得得分；及 当所述得分大于一个值时，确定所述衬底具有静电放电ESD缺陷，且当所述得分小于所述值时，确定所述衬底不具有所述ESD缺陷，其中 所述第一差异小于所述第二差异，且所述第N-1差异小于所述第N差异，其中所述计算是根据方程式1执行： 其中Ws是所述得分、G是第一区G1、第二区G2、第三区G3及第N区GN中的个别灰度值，且e1是第一加权因子，e2是第二加权因子，e3是第三加权因子且en是第N加权因子。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人台湾积体电路制造股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾新竹市新竹科学工业园力行六路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号