应用材料公司张康获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利遮盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114342057B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080062271.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权遮盘是由张康;魏俊琪;欧岳生;K·波;和田优一;A·朱普迪;S·巴布设计研发完成，并于2020-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本遮盘在说明书摘要公布了：描述用于物理气相沉积PVD的包括钛Ti、钡Ba、或铈Ce中的一者或多者的遮盘，所述遮盘允许粘贴以在基板的蚀刻期间最小化释气和控制缺陷。所述遮盘合并集气剂材料，所述集气剂材料对于包括O2、CO、CO2、和水的反应气体分子具有高度选择性。
本发明授权遮盘在权利要求书中公布了：1.一种处理方法，所述方法包括： 将遮盘移送至处理腔室，所述遮盘包括集气剂材料； 溅射所述遮盘以在所述处理腔室的壁上沉积一厚度的所述集气剂材料； 在所述处理腔室中使用等离子体蚀刻基板，以移除原生氧化物并且形成经清洁的基板，其中蚀刻所述基板释放释气分子，所述释气分子化学地结合至所述集气剂材料；以及 从所述处理腔室移除所述遮盘。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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