维耶尔公司H·塔利比获国家专利权
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龙图腾网获悉维耶尔公司申请的专利用于将器件或图案转移到基板的系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113853671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080036619.1,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权用于将器件或图案转移到基板的系统和方法是由H·塔利比设计研发完成,并于2020-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于将器件或图案转移到基板的系统和方法在说明书摘要公布了:本发明涉及转移系统和方法,更具体地涉及将多个图案或器件从转移介质转移到基板。所述转移装置包括用于保持基板的第一保持器、用于保持转移介质的第二保持器,其中所述转移介质包括器件或图案中的一者、在所述第二保持器在相对于所述基板的一个维度的第一方向上移动以转移所述器件或图案时耦接到所述第二保持器的第一对准系统;以及在所述第二保持器相对于所述基板的另一维度的第二方向上移动以将所述器件或图案转移到所述基板时耦接到所述第二保持器的第二对准系统,其中所述转移装置可操作以将多个器件和图案转移到所述基板。
本发明授权用于将器件或图案转移到基板的系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种转移装置,包括: 第一保持器,用于保持基板; 第二保持器,用于保持转移介质,其中所述转移介质包括器件或图案中的一者; 第一对准系统,耦接到所述第二保持器,以使所述第二保持器在相对于所述基板的一个维度的第一方向上移动,以转移所述器件或图案; 第二对准系统,耦接到所述第二保持器,以使所述第二保持器在相对于所述基板的另一维度的第二方向上移动,以将所述器件或图案转移到所述基板,其中 所述转移装置可操作以将多个器件和图案转移到所述基板;以及 一个或多个视觉系统,耦接到所述第一和第二保持器,以捕获对准标记; 其中所述对准标记设置在所述基板和转移介质上,并且其中所述一个或多个视觉系统包括静止视觉系统和移动视觉系统, 其中,所述移动视觉系统安装在所述第二保持器的顶部以捕获所述转移介质上和所述基板的水平边缘处的对准标记的图像,以测量两者的相对位置,以及 其中,两个静止视觉系统固定安装在所述第一保持器的两侧,以捕获所述基板两侧的对准标记的图像。
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