中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司郑二虎获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请的专利半导体结构的形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113497084B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010252066.5,技术领域涉及:H10N50/10;该发明授权半导体结构的形成方法是由郑二虎设计研发完成,并于2020-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构的形成方法在说明书摘要公布了:一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底;在所述基底上形成第一电磁膜;在所述第一电磁膜表面形成隧道膜;采用第一加热工艺,对所述第一电磁膜和所述隧道膜进行热处理;在对所述第一电磁膜和所述隧道膜进行热处理后,在所述隧道膜表面形成第二电磁膜。从而,提高磁隧道结的性能。
本发明授权半导体结构的形成方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构的形成方法,其特征在于,包括: 提供基底; 在所述基底上形成第一电磁膜; 采用第二加热工艺,对所述第一电磁膜进行热处理,采用第二加热工艺的步骤中,针对第一电磁膜调整工艺参数;对所述第一电磁膜进行热处理后,在所述第一电磁膜表面形成隧道膜; 采用第一加热工艺,对所述第一电磁膜和所述隧道膜进行热处理,采用第一加热工艺的步骤中,针对隧道膜调整工艺参数,以减少第一电磁膜材料和隧道膜材料之间的相互扩散; 在对所述第一电磁膜和所述隧道膜进行热处理后,在所述隧道膜表面形成第二电磁膜; 采用第三加热工艺,对所述第二电磁膜进行热处理,采用第三加热工艺的步骤中,针对第二电磁膜调整工艺参数,以减少第一电磁膜材料、隧道膜材料和第二电磁膜材料之间的相互扩散。
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