齐耐润科技(上海)股份有限公司骆劲松获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉齐耐润科技(上海)股份有限公司申请的专利半导体设备涂层涂覆的冲击控制方法、装置及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120545224B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511030119.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体设备涂层涂覆的冲击控制方法、装置及存储介质是由骆劲松设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备涂层涂覆的冲击控制方法、装置及存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造的技术领域，公开一种半导体设备涂层涂覆的冲击控制方法、装置及存储介质，方法包括：将设备固定于安装夹具，提取加工管路的内表面积、内径数据，计算第一临时值、第二临时值及综合临时值，依综合临时值调节涂层涂料注入量；转动设备使注入端朝上，控制设备以不同速度抬升、下降进入冲击状态，经缓冲后循环冲击，直至流出端涂料流量达标，复位设备。本方案解决了传统特氟龙涂层在小孔径管路涂覆中存在的耗时长、覆盖不均等问题，大幅提升了半导体设备涂层涂覆效率与均匀性。
本发明授权半导体设备涂层涂覆的冲击控制方法、装置及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备涂层涂覆的冲击控制方法，其特征在于，包括如下步骤： 将半导体设备以初始安装状态固定在安装夹具1上； 获取所述半导体设备的数据，从所述半导体设备的数据中提取出加工管路数据，所述加工管路数据包括内表面积和内径，根据所述内表面积与预设的参考面积计算出第一临时值，根据所述内径和预设的参考内径计算出第二临时值，根据所述第一临时值和所述第二临时值计算出综合临时值； 向所述加工管路注入涂层涂料，根据所述综合临时值正相关调节所述涂层涂料的量； 驱动所述半导体设备转动至所述加工管路的注入端朝上； 进入冲击状态：控制所述半导体设备以预设的第一速度抬升至预设的第一高度，控制所述半导体设备于预设的第二速度到达至预设的第二高度，其中所述第二速度大于所述第一速度，所述第二高度低于所述第一高度； 缓冲所述半导体设备的冲击达预设的第一时长后，继续进入所述冲击状态，直至所述加工管路的流出端流出的所述涂层涂料的流量大于预设的第一流量； 退出所述冲击状态，复位所述半导体设备至所述初始安装状态。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人齐耐润科技(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201600 上海市松江区车墩镇泖亭路706号2幢二层-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号