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龙图腾网获悉沈阳星光新材料有限公司申请的专利一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120525885B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511021364.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法及系统是由任云;刘长春;周琨;任海设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备检测技术领域，公开了一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法及系统，其中，一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法包括：构建微型自主移动检测机器人，采集晶舟表面的衍射图案、多焦面图像序列、多光谱图像及其他多模态数据；利用相位恢复算法、焦面堆叠算法和多光谱信息融合技术进行图像处理；基于信息熵计算和观察价值评估，规划最优观察路径；对缺陷进行定量表征和风险评估；本发明突破了传统光学检测的分辨率限制，实现了纳米级缺陷的检测能力，消除了检测盲区，获取了缺陷的三维形态和多维特征信息，为晶舟质量控制提供了更精准的技术手段。

本发明授权一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法，其特征在于，包括以下步骤： 构建微型自主移动检测机器人，机器人集成衍射光学成像装置、多光谱相机和焦距控制系统； 利用自主移动检测机器人采集晶舟表面的多模态图像数据，包括衍射图案、多焦面图像序列和多光谱图像； 对采集的多模态图像数据进行处理，通过相位恢复算法从衍射图案重建纳米级形貌，通过焦面堆叠算法从多焦面图像序列重建三维形态，通过多光谱信息融合增强缺陷特征，得到晶舟表面的初步检测结果；焦面堆叠算法包括： 对每个像素位置计算不同焦平面图像的聚焦度得分，构建聚焦度体积数据； 对每个像素位置，确定聚焦度最大的焦平面位置，生成深度图； 对深度图应用滤波算法进行平滑处理； 根据平滑后的深度图，从对应焦平面提取每个位置的清晰像素值，构建全景深图像； 基于初步检测结果，通过信息熵计算和观察价值评估，规划最优观察路径，自主决策下一步最优观察位置和角度，并进行二次图像采集和处理，获得更详细的缺陷信息； 对获得的详细缺陷信息进行定量表征和风险评估，预测缺陷在使用环境下的演变趋势。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳星光新材料有限公司，其通讯地址为：110326 辽宁省沈阳市新民市胡台新城繁荣六路42号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。