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龙图腾网获悉江苏晨达半导体科技有限公司申请的专利一种半导体制造设备尾气洗涤塔获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120502218B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511006468.6，技术领域涉及：B01D53/78；该发明授权一种半导体制造设备尾气洗涤塔是由洪协庆设计研发完成，并于2025-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体制造设备尾气洗涤塔在说明书摘要公布了：本发明涉及尾气处理技术领域，具体为一种半导体制造设备尾气洗涤塔，包括洗涤塔主体；洗涤塔主体的下端开设有进气口，洗涤塔主体的上端开设有出气口，洗涤塔主体的外表面设置有观察窗口，洗涤塔主体的内部固定连接有支撑座，支撑座的上表面固定连接有防护座，防护座的内部开设有第一滑槽和第二滑槽，第一滑槽的内部设置有旋转支撑组件，本发明中，利用旋转支撑组件可带动栅板上表面设置的填料进行旋转，从而对填料进行位置调节，通过填料位置的不断改变，确保尾气在塔内的任何位置都能与新鲜的、未被过度使用的填料部分进行充分接触，从而避免了在固定位置出现气液接触过度或不足的情况，从而使整个处理过程中的气液接触更加均匀。

本发明授权一种半导体制造设备尾气洗涤塔在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造设备尾气洗涤塔，包括洗涤塔主体（1）；其特征在于，所述洗涤塔主体（1）的下端开设有进气口（2），所述洗涤塔主体（1）的上端开设有出气口（3），所述洗涤塔主体（1）的外表面设置有观察窗口（4），所述洗涤塔主体（1）的内部固定连接有支撑座（5），所述支撑座（5）的上表面固定连接有防护座（6），所述防护座（6）的内部开设有第一滑槽（7）和第二滑槽（8），所述第一滑槽（7）的内部设置有旋转支撑组件，所述旋转支撑组件包括底盘（9），所述底盘（9）的上方设置有栅板（18），所述栅板（18）的上表面设置有填料（19），所述旋转支撑组件用于对填料（19）进行位置调节，所述底盘（9）的上表面固定连接有固定筒（15），所述固定筒（15）的内部连接有轴向弹簧（16），所述轴向弹簧（16）的另一端连接有伸缩杆（17），所述伸缩杆（17）与栅板（18）固定连接，所述固定筒（15）关于底盘（9）的纵向中心线呈对称分布，所述底盘（9）的外表面套接有齿环（10），输出轴（14）的一端固定连接有驱动齿轮（11），所述驱动齿轮（11）与齿环（10）啮合连接，所述栅板（18）的上表面等距离分布有纵向隔板（20），所述纵向隔板（20）的俯视呈圆环形结构，所述填料（19）关于纵向隔板（20）的中心呈等角度分布，上下两个所述纵向隔板（20）之间设置有横向隔板（23），所述填料（19）的外表面固定连接有凸块（21），所述纵向隔板（20）的内部开设有限位槽（22），所述限位槽（22）的剖视呈倒“凸”字形结构，所述凸块（21）的一端位于限位槽（22）的内部； 所述底盘（9）的内部设置有振动组件，所述振动组件用于带动栅板（18）上表面设置的填料（19）进行振动。

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