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龙图腾网获悉上海派拉纶生物技术股份有限公司申请的专利ALD镀膜系统及镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120519830B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511007243.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权ALD镀膜系统及镀膜方法是由张岳;徐正伟;张金刚设计研发完成，并于2025-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本ALD镀膜系统及镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种ALD镀膜系统及镀膜方法，涉及ALD镀膜技术领域。镀膜系统包括反应腔体、至少一个检测腔体、至少两个第一进料源、切换装置、第二进料源；将一个第一进料源仅与反应腔体导通，并与第二进料源交替进料，剩余的第一进料源仅与检测腔体导通，同时第一进料阀闭合，以检测第一进料阀是否微漏；经过预设时间后，将当前进料的第一进料源仅与检测腔体导通，同时第一进料阀闭合，以检测其第一进料阀是否微漏，再替换为一个检测后无微漏的第一进料阀对应的第一进料源继续进料。本发明通过独立检测腔体，可实时监测进料阀的极限真空变化，精准发现传统方法无法检测的微漏，实现微漏精准监测，有效避免微漏导致的粉尘污染。

本发明授权ALD镀膜系统及镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种ALD镀膜系统，其特征在于，包括： 反应腔体； 至少一个检测腔体； 至少两个第一进料源，多个所述第一进料源分别通过多条第一进料管路与所述反应腔体连接，每个所述第一进料源与对应的第一进料管路之间均设置有一个第一进料阀，多个所述第一进料源还分别通过多条检测管路与所述检测腔体连接； 切换装置，所述检测管路通过所述切换装置与所述第一进料管路连通，所述切换装置用于控制所述第一进料源仅与所述反应腔体或仅与所述检测腔体导通； 第二进料源，所述第二进料源通过第二进料管路与所述反应腔体连接，所述第二进料源与第二进料管路之间设置有第二进料阀； 其中，将一个所述第一进料源仅与所述反应腔体导通，并与所述第二进料源交替进料以在所述反应腔体内基材表面形成原子沉积层，剩余的所述第一进料源仅与所述检测腔体导通，同时第一进料阀闭合，以检测所述第一进料阀是否微漏；经过预设时间后，将当前进料的所述第一进料源仅与所述检测腔体导通，同时第一进料阀闭合，以检测其第一进料阀是否微漏，再替换为一个检测后无微漏的所述第一进料阀对应的第一进料源继续进料。

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