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龙图腾网获悉信联电子材料科技股份有限公司申请的专利基于双光路红外反射法的抗反射涂层测厚方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120488975B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510991470.7，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权基于双光路红外反射法的抗反射涂层测厚方法及系统是由冯亚楠;尹丰丰;张炳庆;邵天成;张泽森;吴双双;张瑞起;苑征瑞;刘向东;孙巧云设计研发完成，并于2025-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于双光路红外反射法的抗反射涂层测厚方法及系统在说明书摘要公布了：本申请涉及涂层厚度测量技术领域，具体涉及基于双光路红外反射法的抗反射涂层测厚方法及系统，该方法包括：获取各时刻下测量光路光束入射到待测样品涂层表面的反射信号与参考光路光束入射到标准样品涂层表面的反射信号；在各时刻下反演得到待测样品涂层的厚度测量值；实时采集裸露基底的反射光谱数据；获取各时刻的光谱特征值与变化度；获取各时刻的下一时刻的预测厚度测量误差，获取各时刻的基底补偿因子，评估是否需要重新反演计算各时刻下的厚度测量值；若需要，构建各时刻的目标函数，优化各时刻反演厚度测量值的菲涅尔模型的参数；反演计算各时刻下待测样品涂层的厚度测量值。本申请旨在提高抗反射涂层厚度测量的稳定性与精度。

本发明授权基于双光路红外反射法的抗反射涂层测厚方法及系统在权利要求书中公布了：1.基于双光路红外反射法的抗反射涂层测厚方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 获取各时刻下测量光路光束入射到待测样品涂层表面的反射信号与参考光路光束入射到标准样品涂层表面的反射信号之间的差异，得到双光路差分信号；在各时刻下，利用预构建的菲涅尔模型根据测量光路光束的反射信号反演得到待测样品涂层的厚度测量值；实时采集裸露基底的反射光谱数据； 对各时刻之前所有反射光谱数据进行主成分分析得到主成分，通过比较各时刻的反射光谱数据与所述主成分，获取各时刻的光谱特征值，结合通过各时刻之前所有反射光谱数据的变化情况，获取到的各时刻的峰位偏移因子与峰高变化因子，获取各时刻的变化度； 获取各时刻的厚度测量值相较于预设目标厚度的厚度测量误差，通过各时刻之前所有的厚度测量误差与变化度，获取各时刻的下一时刻的预测厚度测量误差，结合各时刻之前所有所述变化度随着双光路差分信号与预采集的理想双路差分信号之间的差异在时序上的变化程度，获取各时刻的基底补偿因子； 通过所述基底补偿因子，评估是否需要重新反演计算各时刻下的厚度测量值；若需要，通过所述基底补偿因子与所述双光路差分信号，结合基底的折射率与消光系数，构建各时刻的目标函数，用于优化各时刻反演厚度测量值的菲涅尔模型的参数，具体为：基底的折射率与消光系数；通过利用求解目标函数得到的基底的折射率与消光系数构建的菲涅尔模型，反演计算各时刻下待测样品涂层的厚度测量值。

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