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龙图腾网获悉辽宁嘉顺科技有限公司申请的专利一种氧化镁的研磨监测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120489986B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510976757.2，技术领域涉及：G01N21/25；该发明授权一种氧化镁的研磨监测方法及系统是由高斌;王继奇;倪晶;赵恩猛;史锐;许勇;卞天赐;史轩赫;庞善文设计研发完成，并于2025-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化镁的研磨监测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氧化镁的研磨监测方法及系统，具体涉及研磨监测技术领域，本发明首先从从具有目标厚度的参考基材表面，采集由光反射生成的参考光谱；在研磨过程中，通过多个光学传感器，多角度捕获氧化镁研磨基材表面反射光谱；然后根据K值、粉尘时空浓度分布计算各个光学传感器的画面粉尘影响系数；确定角度修正因子以及画面粉尘影响系数综合分配各个光学传感器获取的反射光谱权重系数；根据各个光学传感器获取的反射光谱权重系数将各个光学传感器获取的反射光谱融合输出；最后将实时光谱与历史光谱库匹配；对比各区域目标厚度，确定速率偏差；通过压力控制系统，动态调整不同区域的研磨压力；使所有区域的研磨终点时间趋近一致。

本发明授权一种氧化镁的研磨监测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种氧化镁的研磨监测方法，其特征在于，包括以下步骤： 从具有目标厚度的参考基材表面，采集由光反射生成的参考光谱；在研磨过程中，通过多个光学传感器，多角度捕获氧化镁研磨基材表面反射光谱； 根据K值、粉尘时空浓度分布计算各个光学传感器的画面粉尘影响系数；确定角度修正因子以及画面粉尘影响系数综合分配各个光学传感器获取的反射光谱权重系数；根据各个光学传感器获取的反射光谱权重系数将各个光学传感器获取的反射光谱进行融合输出； 将实时光谱与历史光谱库匹配，生成各区域的厚度指针，所述厚度指针为实时厚度估计值；对比各区域目标厚度，确定速率偏差；通过载具头分区压力控制系统，动态调整不同区域的研磨压力；使所有区域的研磨终点时间趋近一致； 所述K值，确定光学传感器捕获范围区间，将光学传感器捕获范围区间与预测粉尘移动轨迹进行比对；若光学传感器被遮挡，则K=1，否则，K=0。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人辽宁嘉顺科技有限公司，其通讯地址为：115109 辽宁省营口市营口大石桥市永安镇辉庄村(经营场所:辽宁省营口大石桥市金牛山路99号)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。