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龙图腾网获悉江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心)申请的专利高深径比微孔槽标准样板及其制备与表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120521548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510947152.0，技术领域涉及：G01B21/02；该发明授权高深径比微孔槽标准样板及其制备与表征方法是由陈露;封志明;李新;王蓓;刘辉设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本高深径比微孔槽标准样板及其制备与表征方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种高深径比微孔槽标准样板及其制备与表征方法，表征方法包括：对待切片微孔槽的孔口平面成像，提取微孔槽孔口边缘轮廓，通过计算得到待切片微孔槽的基准直径；沿宏观标记线对标准样板进行初步切割，获得一次切片；沿宏观标记线进行研磨，至所述中尺寸标记线停止获得二次切片；以中尺寸标记线为切入路径，以基准直径为目标直径，对二次切片进行逐层磨削，获得直径剖面的制备面；获得制备面的实测值；基于实测值和基准直径，建立用于表征直径剖面的制备面与理想面偏差的空间几何偏差模型，对实测值进行误差补偿，将实测值转换为理想面的等效值。表征后的标准样板可满足高深径比微孔槽无损测量仪器设备的精确校准需求。

本发明授权高深径比微孔槽标准样板及其制备与表征方法在权利要求书中公布了：1.一种高深径比微孔槽标准样板的表征方法，多个所述标准样板成型于单个晶圆上，所述标准样板上设有循迹结构、以及待切片微孔槽，其特征在于，所述表征方法包括以下步骤： 设置相互平行的宏观标记线、中尺寸标记线，所述待切片微孔槽孔口边缘至所述宏观标记线的距离为l1、至所述中尺寸标记线的距离为l2，l1＞l2； 通过所述循迹结构定位，对所述待切片微孔槽的孔口平面进行成像，提取图像中微孔槽孔口边缘轮廓，通过二值化处理、最小二乘圆拟合，得到所述待切片微孔槽的基准直径； 沿所述宏观标记线对所述标准样板进行初步切割，以初步减薄所述待切片微孔槽孔口边缘与所述标准样板边缘之间的区域，获得一次切片； 在所述一次切片上，沿所述宏观标记线进行研磨，至所述中尺寸标记线停止，获得二次切片； 以所述中尺寸标记线为切入路径，以所述基准直径为目标直径，对所述二次切片进行逐层磨削，获得所述待切片微孔槽直径剖面的制备面； 测量获得所述制备面的实测值，其包括微孔槽的深度、顶部宽度、半高全宽，所述半高全宽为所述微孔槽深度一半位置处的宽度； 基于所述实测值和所述基准直径，建立用于表征所述直径剖面的制备面与理想面位置偏差的空间几何偏差模型，基于所述位置偏差对所述实测值进行误差补偿，将实测值转换为理想面的等效值。

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