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龙图腾网获悉四川知微传感技术有限公司申请的专利一种三轴MEMS加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120427940B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510940453.0，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种三轴MEMS加速度计是由范宏斌;王岩;周瑞;张恒基;罗鹏设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三轴MEMS加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三轴MEMS加速度计，涉及惯性传感器领域，用以改善多轴加速度计温度漂移差、闭环量程较低的问题。本发明包括逐层设计的基板、绝缘层、电极层和结构层；结构层包括X轴结构层、Y轴结构层和Z轴结构层；Z轴结构层包括中空的Z轴敏感质量块和位于Z轴敏感质量块中心的第一锚点，Z轴敏感质量块通过扭转梁连接第一锚点，Z轴敏感质量块在扭转梁两侧的质量不对等；X轴结构层和Y轴结构层分别位于扭转梁两侧、Z轴敏感质量块的中空区域内；X轴结构层和Y轴结构层的检测结构和加力结构的敏感质量块不共用，检测结构和加力结构的谐振频率相同。本发明优化了温度漂移和闭环量程，减小了多轴传感器的芯片面积。

本发明授权一种三轴MEMS加速度计在权利要求书中公布了：1.一种三轴MEMS加速度计，其特征在于，包括逐层设计的基板、绝缘层、电极层和结构层；所述结构层包括X轴结构层、Y轴结构层和Z轴结构层；所述Z轴结构层包括中空的Z轴敏感质量块和位于所述Z轴敏感质量块中心的第一锚点（15），所述Z轴敏感质量块通过扭转梁（21）连接所述第一锚点（15），所述Z轴敏感质量块在所述扭转梁（21）两侧的质量不对等；所述X轴结构层和所述Y轴结构层分别位于所述扭转梁（21）两侧、所述Z轴敏感质量块的中空区域内；所述X轴结构层和所述Y轴结构层的检测结构和加力结构的敏感质量块不共用，且检测结构和加力结构的谐振频率相同； 所述X轴结构层包括X轴检测质量块（22）和X轴加力质量块（13）；所述Y轴结构层包括Y轴检测质量块（17）和Y轴加力质量块（20）；所述X轴检测质量块（22）和所述Y轴检测质量块（17）结构相同且正交排布；所述X轴加力质量块（13）和所述Y轴加力质量块（20）结构相同且正交排布；所述X轴检测质量块（22）和所述Y轴检测质量块（17）相互隔离，所述X轴加力质量块（13）和所述Y轴加力质量块（20）相互隔离； 所述X轴检测质量块（22）上设置有沿X轴方向排布的第一梳齿单元、第二锚点（37）、位于所述X轴检测质量块（22）中心的第三锚点（38）、第一弹簧（51）和第一梁结构（36）；所述第一梳齿单元包括相互匹配的第一固定梳齿和第一移动梳齿；所述第一固定梳齿连接于所述第二锚点（37）上，所述第一移动梳齿连接于所述X轴检测质量块（22）上；所述第一弹簧（51）位于所述第三锚点（38）两侧，所述第一弹簧（51）的内侧通过所述第一梁结构（36）连接所述第三锚点（38），所述第一弹簧（51）的外侧连接所述X轴检测质量块（22）； 所述X轴加力质量块（13）上设置有沿X轴方向排布的第二梳齿单元、第四锚点（48）、位于所述X轴加力质量块（13）中心的第五锚点（49）、第二弹簧（35）和第二梁结构（50）；所述第二梳齿单元包括相互匹配的第二固定梳齿和第二移动梳齿；所述第二固定梳齿连接于所述第四锚点（48）上，所述第二移动梳齿连接于所述X轴加力质量块（13）上；所述第二弹簧（35）位于所述第五锚点（49）两侧，所述第二弹簧（35）的内侧通过所述第二梁结构（50）连接所述第五锚点（49），所述第二弹簧（35）的外侧连接所述X轴加力质量块（13）； 所述第二梳齿单元的梳齿间隙小于所述第一梳齿单元的梳齿间隙；所述第二梳齿单元的梳齿对数多于所述第一梳齿单元的梳齿对数；所述第二梳齿单元的梳齿正对面积大于所述第一梳齿单元的梳齿正对面积。

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