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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利微孔加工装置、方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120363347B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510887920.8，技术领域涉及：B28D1/14；该发明授权微孔加工装置、方法及系统是由王金荣;朱亮;曹建伟;邓江山;梁永峰设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本微孔加工装置、方法及系统在说明书摘要公布了：本申请涉及硬脆性材料微孔加工领域，尤其是涉及微孔加工装置、方法及系统，微孔加工装置，包括：刀具组件，刀具组件用于竖直方向进给钻孔，刀具组件包括：动力轴，动力轴用于提供钻孔动力；微针，微针固定连接于动力轴，微针用于对工件钻孔；载体组件，载体组件设置于刀具组件的下方，载体组件包括：载体，载体用于承载工件，载体相对于刀具组件具有沿竖直方向的移动自由度；调节件，调节件位于载体的下方，调节件连接并作用于载体，调节件可向上对载体输出可调节的作用力Fx，以使微针对工件的实际打孔作用力F0保持恒定。通过动态调节刀具与工件的相互作用力，达到提高微孔加工品质的技术效果。

本发明授权微孔加工装置、方法及系统在权利要求书中公布了：1.微孔加工装置，其特征在于， 刀具组件（100），所述刀具组件（100）用于竖直方向进给钻孔，所述刀具组件（100）包括： 动力轴（110），所述动力轴（110）用于提供钻孔动力； 微针（120），所述微针（120）固定连接于动力轴（110），所述微针（120）用于对工件（400）钻孔； 载体组件（200），所述载体组件（200）设置于所述刀具组件（100）的下方，所述载体组件（200）包括： 载体（210），所述载体（210）用于承载工件（400），所述载体（210）相对于刀具组件（100）具有沿竖直方向的移动自由度； 调节件（220），所述调节件（220）位于所述载体（210）的下方，所述调节件（220）连接并作用于所述载体（210），所述调节件（220）可向上对所述载体（210）输出可调节的作用力Fx，以使所述微针（120）对工件（400）的实际打孔作用力F0保持恒定； 所述调节件（220）为音圈电机（221）； 所述音圈电机（221）获取所述载体（210）所受合力F+m1+m2g，其中，F是指刀具组件（100）对工件（400）的作用力，m1为工件（400）的质量，m2为载体（210）的质量； 所述音圈电机（221）输出的作用力Fx满足：Fx≥F+m1+m2g； 调节所述音圈电机（221）输出的作用力Fx，使所述微针（120）对工件（400）的实际打孔作用力F0=F-Fx-m1+m2g保持恒定。

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