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天津大学李吉宁获国家专利权

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龙图腾网获悉天津大学申请的专利基于太赫兹脉冲片上辐射探测的检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120370143B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510863599.X,技术领域涉及:G01R31/311;该发明授权基于太赫兹脉冲片上辐射探测的检测系统及方法是由李吉宁;徐振;罗曼;陈锴;钟凯;王与烨;徐德刚设计研发完成,并于2025-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

基于太赫兹脉冲片上辐射探测的检测系统及方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种基于太赫兹脉冲片上辐射探测的检测系统及方法,可以应用于太赫兹无损检测技术领域。该检测系统包括:集成于同一片上的太赫兹脉冲辐射单元、脉冲调控与隔离单元和太赫兹脉冲探测单元;太赫兹脉冲辐射单元用于在第一飞秒激光脉冲的作用下辐射太赫兹检测脉冲;脉冲调控与隔离单元用于调控从第一端口输入的太赫兹检测脉冲通过第三端口输出,以及调控从第三端口输入的太赫兹反射脉冲通过第二端口输出;太赫兹脉冲探测单元与第二端口连接,用于对太赫兹反射脉冲进行探测,得到电流信号,以基于电流信号,实现对被测样品的故障缺陷检测。该检测系统避免了在检测过程中对集成电路结构造成破坏,解决了故障缺陷检测准确性差的问题。

本发明授权基于太赫兹脉冲片上辐射探测的检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于太赫兹脉冲片上辐射探测的检测系统,应用于集成电路或封装芯片的故障缺陷检测,其特征在于,所述检测系统包括: 集成于同一片上的太赫兹脉冲辐射单元、脉冲调控与隔离单元和太赫兹脉冲探测单元; 所述太赫兹脉冲辐射单元,用于在第一飞秒激光脉冲的作用下,辐射太赫兹检测脉冲; 所述脉冲调控与隔离单元,设置为平面传输波导结构,包括第一端口、第二端口和第三端口,用于调控从所述第一端口输入的太赫兹检测脉冲,使所述太赫兹检测脉冲通过所述第三端口输出,以及调控从所述第三端口输入的太赫兹反射脉冲,使所述太赫兹反射脉冲通过所述第二端口输出,其中,所述太赫兹反射脉冲是所述太赫兹检测脉冲传输至被测样品中并从所述被测样品中反射回的脉冲; 所述太赫兹脉冲探测单元,与所述第二端口连接,用于在第二飞秒激光脉冲的作用下,对所述太赫兹反射脉冲进行探测,得到电流信号,以基于所述电流信号,实现对所述被测样品的故障缺陷检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津大学,其通讯地址为:300072 天津市南开区卫津路92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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