南京大学叶建东获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利具有13.5 nm波长探测能力的Al2O3极紫外探测器及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120379364B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510856222.1,技术领域涉及:H10F30/227;该发明授权具有13.5 nm波长探测能力的Al2O3极紫外探测器及其制备方法和应用是由叶建东;关湛南;姚佳豪;张崇德;高翔;任芳芳;顾书林;张荣设计研发完成,并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有13.5 nm波长探测能力的Al2O3极紫外探测器及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有13.5nm波长探测能力的Al2O3极紫外探测器及其制备方法和应用。所述Al2O3极紫外探测器包括从下至上依次设置的衬底、Si掺杂Al2O3外延层和分别位于Si掺杂Al2O3外延层两端的叉指电极。所述衬底为蓝宝石衬底;所述Si掺杂Al2O3外延层的厚度为100~5000nm,Si掺杂浓度为1×1016~1×1020cm‑3。相比于其他极紫外探测器,本发明实现对于13.5nm波长光探测的高量子效率、可见光盲特性、低暗电流和抗辐射性。
本发明授权具有13.5 nm波长探测能力的Al2O3极紫外探测器及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种具有13.5nm波长探测能力的Al2O3极紫外探测器,其特征在于:所述Al2O3极紫外探测器由从下至上依次设置的衬底(1)、Si掺杂Al2O3外延层(2)和分别位于Si掺杂Al2O3外延层两端的叉指电极(3)组成; 所述Si掺杂Al2O3外延层(2)的厚度为100~5000nm,Si掺杂浓度为1×1016~1×1020cm-3。
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