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内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司王金荣获国家专利权

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龙图腾网获悉内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120307490B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510780924.6,技术领域涉及:B28D7/04;该发明授权晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法是由王金荣;马立江;朱亮;曹原设计研发完成,并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法,属于晶棒加工技术领域,解决了现有的晶托夹持方式导致切割晶棒容易隐裂的问题。本申请包括基座、第一夹持组件以及第二夹持组件,其中,基座上设有固定夹持面和浮动夹持面,固定夹持面用于与晶托上表面的第一部分抵接,浮动夹持面可以上下浮动与晶托上表面的第二部分抵接,第一夹持组件可以抬升晶托的两端,第二夹持组件可以顶升晶托的中部区域。本申请利用浮动调节件向下活动,从而抵接支撑晶托上表面的第二部分,晶托不会产生夹持弯曲,且当基座带动晶托和晶棒下压切割线时,固定夹持面与浮动夹持面均可以对受到的切割反作用力进行有效支撑,晶棒切割的隐裂概率可有效降低。

本发明授权晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法在权利要求书中公布了:1.一种晶托夹持方法,适用于晶托夹持装置,其特征在于, 所述晶托夹持装置包括: 基座100,所述基座100底部沿长度方向排布设有至少2个固定夹持面a,所述固定夹持面a用于与晶托上表面的第一部分抵接, 浮动调节件700,所述浮动调节件700设置于至少2个所述固定夹持面a之间且与所述基座100活动连接,所述浮动调节件700具有一浮动夹持面b,所述浮动夹持面b具有竖直方向的活动自由度以用于与晶托上表面的第二部分抵接,定义所述晶托上表面的第二部分位于至少2个所述晶托上表面的第一部分之间; 第一夹持组件200,所述第一夹持组件200包括: 第一夹持件210,所述第一夹持件210至少为2个且分别设置于所述固定夹持面a的竖直方向上,所述第一夹持件210与所述固定夹持面a用于共同夹持晶托; 第一驱动机构220,所述第一驱动机构220具有第一输出端221,所述第一输出端221作用于所述第一夹持件210,以带动所述第一夹持件210靠近或远离所述固定夹持面a;以及 第二夹持组件300,所述第二夹持组件300包括: 第二夹持件310,所述第二夹持件310设置于所述浮动夹持面b的竖直方向上,所述第二夹持件310与所述浮动夹持面b用于共同夹持晶托; 第二驱动机构320,所述第二驱动机构320具有第二输出端321,所述第二输出端321贯穿所述浮动调节件700且作用于所述第二夹持件310,以带动所述第二夹持件310靠近或远离所述浮动夹持面b; 所述晶托夹持方法包括: 控制至少2个第一夹持件210向上抬升晶托,保持晶托上表面的第一部分与基座100的固定夹持面a抵接; 获取晶托上表面的第二部分的高度位置; 基于晶托上表面的第二部分的高度位置,控制浮动夹持面b向下抵接晶托上表面的第二部分,控制第二夹持件310向上抵接晶托。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司,其通讯地址为:010010 内蒙古自治区呼和浩特市金桥经济开发区工业二区宝力尔街;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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