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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120280366B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510760294.6，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质是由谢龙辉;朱亮;吴霏霏;李凤翔;高莺旗;王佳锋;李贞周设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质，该检测方法包括：将待测样片固定在检测平台上，使待测样片能够在检测平台的带动下沿预设方向往复运动；当待测样片移动至采样单元的下方时，控制待测样片沿第一预设方向移动，使采样单元间隔地对待测样片上的采样点进行采样；控制待测样片围绕其轴线转动设定角度，控制待测样片沿第二预设方向相对采样单元移动，使采样单元间隔地对待测样片上的采样点进行采样，第二预设方向与第一预设方向相反；基于采样点的检测电压与空载电压的差值确定采样点的参考电压；将参考电压代入基于预先建立的电阻率计算公式，得到电阻率。该检测方法对晶圆电阻率的检测效率更高，且具有更高精度。

本发明授权晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆电阻率的检测方法，其特征在于，包括： 将待测样片固定在检测平台（10）上，使所述待测样片能够在所述检测平台（10）的带动下沿预设方向往复运动； 当所述待测样片移动至采样单元（30）的下方时，控制所述待测样片沿第一预设方向相对所述采样单元（30）移动，使所述采样单元（30）间隔地对所述待测样片上的若干第一采样点进行采样，以确定每个所述第一采样点的检测电压； 控制所述待测样片围绕其轴线转动设定角度，控制所述待测样片沿第二预设方向相对所述采样单元（30）移动，使所述采样单元（30）间隔地对所述待测样片上的若干第二采样点进行采样，以确定每个所述第二采样点的检测电压，所述第二预设方向与所述第一预设方向相反； 在确定所述采样单元（30）的空载电压的情况下，基于每个采样点的检测电压与所述空载电压的差值确定每个所述采样点的参考电压； 从样本库中获取电阻率最大的和电阻率最小的两张校准样片； 在确定两张所述校准样片各自的参考电压、厚度和电阻率的情况下，得到电阻率计算公式中的第一固定系数和第二固定系数，所述第一固定系数满足以下关系式：；所述第二固定系数满足以下关系式：； 式中，V1为校准样片一的参考电压，V2为校准样片二的参考电压，T1为校准样片一的厚度，T2为校准样片二的厚度，R1为校准样片一的电阻率，R2为校准样片二的电阻率； 将所述待测样片的厚度，以及每个所述采样点的参考电压代入所述电阻率计算公式，以得到每个所述采样点的电阻率，所述电阻率计算公式满足以下关系式：； 式中，R表示所述电阻率，K表示所述第一固定系数，T表示所述待测样片的厚度、V表示所述参考电压、B表示所述第二固定系数。

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