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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种一体式晶圆传送机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120261387B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510709207.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种一体式晶圆传送机械手是由王成鑫;曾光磊;武献云;于奇;苗兆忠;郑瑜谦设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种一体式晶圆传送机械手在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种一体式晶圆传送机械手，该一体式晶圆传送机械手是由机械手主体、数据采集模块和故障诊断模块组成。本申请通过设置数据采集模块，利用视觉传感器对机械手主体的关键运行节点进行检测，以及采集机械手主体内置的多个电机参数数据，结合故障诊断模块，综合判断机械手主体的运行状态是否正常，以便实现对机械手主体的故障诊断，进一步提高故障诊断的准确性和可靠性。

本发明授权一种一体式晶圆传送机械手在权利要求书中公布了：1.一种一体式晶圆传送机械手，应用于晶圆存储及运输装置，其特征在于，包括： 机械手主体，用于同步转运晶圆盒和晶圆； 数据采集模块，用于实时采集机械手主体的关键运行节点的运行状态图像，以及实时采集机械手主体内置的电机参数数据；所述电机参数数据包括电机温度数据、电机扭力数据和电机运程数据； 故障诊断模块，用于采用图像处理算法对运行状态图像进行处理和分析，生成机械部件识别结果，并结合卷积神经网络模型，得到机械部件异常识别结果；采用滑动平均滤波算法对电机参数数据进行处理，生成电机参数异常结果；基于机械部件异常识别结果和电机参数异常结果，生成综合故障报告，用以判断机械手主体的运行状态是否正常，并在机械手主体的运行状态处于异常时，触发报警系统，通过人机界面或移动端推送综合故障报告，用以确保及时响应和处理； 晶圆盒夹持部，所述晶圆盒夹持部包括用于对多尺寸晶圆盒兼容性夹持的晶圆盒夹持端部和晶圆盒夹持控制结构； 所述晶圆盒夹持控制结构包括固定安装于底板外壳一侧的背板、固定安装于背板内部的电机、固定安装于电机输出轴端的传动块、转动连接于传动块且用以带动晶圆盒夹持端部进行相向或相背移动的传动结构、固定安装于背板内部且用以对晶圆盒夹持端部具有导向作用的第一导向体以及固定安装于背板内部且用以对传动块具有导向作用的第二导向体，所述电机和第二导向体均布设于背板内部的垂直方向的中线上，所述传动块与第二导向体之间滑动连接，所述晶圆盒夹持端部与第一导向体之间滑动连接； 所述晶圆盒夹持控制结构还包括用于判断是否成功夹取不同尺寸的待转运晶圆盒的到位检测结构，所述到位检测结构设置于背板的内部，所述到位检测结构包括电机退回位置到位传感器、第一电机伸出位置到位传感器和第二电机伸出位置到位传感器，所述电机退回位置到位传感器布设于传动块的起始工作位，所述第一电机伸出位置到位传感器和第二电机伸出位置到位传感器由上至下依次布设于传动块的运动轨迹上。

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