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龙图腾网获悉上海跃绅能源科技有限公司申请的专利HJT太阳能电池生产废气中回收氢气和硅烷的工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120136031B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510603909.4，技术领域涉及：C01B3/56；该发明授权HJT太阳能电池生产废气中回收氢气和硅烷的工艺是由王耀亮;马海鸣设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本HJT太阳能电池生产废气中回收氢气和硅烷的工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了HJT太阳能电池生产废气中回收氢气和硅烷的工艺，属于废气处理技术领域，包括以下步骤：废气依次经真空泵、风机输入组合吸附塔，脱除废气中的硅烷或磷化氢成分；经过吸附过后的气体送入深冷冷箱，液化未彻底去除的硅烷或磷化氢和混合气中的氮气；并输送至气液分离器，气液分离器将氢气+少量氮气分离，分离后的高氮液体在换热器中返流，与正流来的废气做热交换，返流的高氮液体汽化后输送至组合吸附塔；步骤五、氢气提纯、回收。本发明通过合理设计废气处理的流程，并提出了一种新型分子筛的构型，实现对HJT太阳能电池生产排出的废气中回收氢气和硅烷气，并提纯后再利用。

本发明授权HJT太阳能电池生产废气中回收氢气和硅烷的工艺在权利要求书中公布了：1.HJT太阳能电池生产废气中回收氢气和硅烷的工艺，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一、在HJT太阳能电池生产过程中，由机台排出的含硅烷或磷化氢、氢气、氮气混合气的废气通过真空泵输送； 步骤二、废气经过风机初步增压后进入组合吸附塔内，脱除废气中的硅烷或磷化氢成分，组合吸附塔内填充吸附剂； 所述吸附剂采用改性分子筛，骨架采用改性菱沸石，改性菱沸石经过电磁辐射改性处理，孔口设计为瓶颈式结构，在孔道内壁负载Cu+，掺杂硼原子替代部分铝位点，形成路易斯酸位点，孔道外表面形成聚二甲基硅氧烷涂层，骨架中嵌入磷酸锆纳米片； 步骤三、经过吸附过后的气体通过压缩机增压，送入深冷冷箱，冷箱内设置换热器，并采用液氮做为辅助冷源，将组合吸附塔未彻底去除的硅烷或磷化氢和混合气中的氮气液化； 步骤四、被液化后的硅烷或磷化氢和混合气中的氮气输送至换热器后的气液分离器中，气液分离器将氢气+少量氮气分离，分离后的高氮液体在换热器中返流，与正流来的废气做热交换，返流的高氮液体汽化后输送至组合吸附塔，作为第一级的再生气使用； 步骤五、气液分离器分离的氢气+少量氮气进入PSA循环吸附塔，氢气被提纯，PSA循环吸附塔的再生气回流至压缩机前的管道处。

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