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龙图腾网获悉宁波云涂科技有限公司申请的专利一种磁控溅射干法制备高均匀性银包电导材料粉体的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120231007B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510500377.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射干法制备高均匀性银包电导材料粉体的方法是由钱旦;胡鑫;张彬;杜秉航;李旗抗;聂淼;陆晓峰设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控溅射干法制备高均匀性银包电导材料粉体的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及磁控溅射技术领域，具体涉及一种磁控溅射干法制备高均匀性银包电导材料粉体的方法，采用基于超声‑电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射装置制备，包括：取适量粒径D50为0.4‑6.0μm经表面处理后的电导材料粉体置于具有梯度孔径结构的工装盘上；控制超声工作频率为20‑100kHz和超声功率密度为1‑5Wcm2至产生的空化微射流速度峰值≥160ms，通以三相交流电生成0.1‑0.5T旋转磁场以驱动电导材料粉体以80‑200rpm自旋，设定阴极靶材的溅射功率密度为3‑10Wcm2；控制工装盘表面温度≤120℃，沉积处理1‑3h，使银层厚度达≥50nm，即得。本发明通过超声‑电磁悬浮多场耦合分散、动态磁场调控溅射路径、梯度孔径工装盘设计等核心技术，实现了银层厚度纳米级可控、包覆均匀性突破以及规模化生产兼容性。

本发明授权一种磁控溅射干法制备高均匀性银包电导材料粉体的方法在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射干法制备高均匀性银包电导材料粉体的方法，其特征在于，采用基于超声-电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射装置制备；所述磁控溅射装置包括磁控溅射炉体1以及设置在所述磁控溅射炉体1内的工装盘2、超声振子阵列3、动态磁场调控模块4和阴极靶材5；所述工装盘2表面具有梯度孔径结构的通孔，在中心区域的通孔的孔径为8-15μm、孔密度为1100-1400孔cm2，在边缘区域的通孔的孔径为40-60μm、孔密度为150-300孔cm2；所述超声振子阵列3分布在所述工装盘2的盘底，所述动态磁场调控模块4设在所述工装盘2的外围，所述阴极靶材5布置在所述磁控溅射炉体1的顶部，所述阴极靶材5为纯度≥99.995%的银，靶材相对水平面倾斜设置且倾角为0-15°，靶面中心距工装盘轴线120-320mm； 所述方法包括以下步骤： 粉体预处理：选用粒径D50为0.4-6.0μm的电导材料粉体，去除表面氧化层和或表面活化处理，取适量表面处理后的电导材料粉体置于所述工装盘2上，所述电导材料粉体的总装载量为10-15kg，堆积厚度为2-20mm； 超声-电磁悬浮：控制超声工作频率为20-100kHz和超声功率密度为1-5Wcm²至产生的空化微射流速度峰值≥160ms，通以三相交流电生成0.1-0.5T旋转磁场以驱动电导材料粉体以80-200rpm自旋，设定所述阴极靶材5的溅射功率密度为中心靶6-8Wcm²、边缘靶3-10Wcm²； 银层沉积：控制工装盘2表面温度≤120℃，沉积处理1-3h，使银层厚度达≥50nm，即得所述高均匀性银包电导材料粉体。

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