广州合胜高新材料有限公司何伟富获国家专利权
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龙图腾网获悉广州合胜高新材料有限公司申请的专利一种水性液态感光光刻胶及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120161676B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510463860.7，技术领域涉及：G03F7/027；该发明授权一种水性液态感光光刻胶及其制备方法是由何伟富;陈茂彬;何俊裕设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水性液态感光光刻胶及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种水性液态感光光刻胶及其制备方法，所述水性液态感光光刻胶，以重量份计，包括以下原料：丙烯酸树脂乳液50‑70份、单体组合物2‑5份、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯8‑12份、光致产酸剂3‑6份、增稠剂0.5‑1.5份、改性全氟聚醚羧酸铵1‑3份、防缩孔剂0.2‑0.4份，去离子水20‑24份。本发明制备得到的水性液态感光光刻胶具有优异的耐蚀刻性能和高解析度并且制备方法简单。
本发明授权一种水性液态感光光刻胶及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种水性液态感光光刻胶，其特征在于，以重量份计，包括以下原料：丙烯酸树脂乳液50-70份、单体组合物2-5份、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯8-12份、光致产酸剂3-6份、增稠剂0.5-1.5份、改性全氟聚醚羧酸铵1-3份、防缩孔剂0.2-0.4份，去离子水20-24份； 所述单体组合物的制备方法为：将甲基丙烯酸八氟戊酯加入氨基丙烯酸单体中30-40℃搅拌1-3h，得到单体组合物； 所述改性全氟聚醚羧酸铵的制备方法，包含以下步骤： A1、将聚乙二醇加入全氟聚醚羧酸中，加入催化剂，70-80℃反应1-2h，加入对苯二甲酸反应1-2h，得到化合物； A2、将三乙胺加入步骤A1得到的化合物中，升温至30-40℃反应1-2h，干燥得到改性全氟聚醚羧酸铵。
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