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龙图腾网获悉中芯联源(北京)科技有限公司申请的专利一种物理气相沉积辅助激光冲击强化钛合金的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120210730B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510420358.8，技术领域涉及：C23C14/16；该发明授权一种物理气相沉积辅助激光冲击强化钛合金的方法是由程瑾瑞;苏彤;康海波;郭爽设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种物理气相沉积辅助激光冲击强化钛合金的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种物理气相沉积辅助激光冲击强化钛合金的方法，方法包括：通过磁控溅射在钛合金表面沉积第一NiZn层；通过磁控溅射在第一NiZn层表面沉积第一NiAl层；通过磁控溅射在第一NiAl层表面沉积第二NiZn层；通过磁控溅射在第二NiZn层表面沉积第二NiAl层，得到待强化的镀膜钛合金；对待强化的镀膜钛合金进行激光冲击疲劳强化；其中，第一NiZn层和第二NiZn层中的Ni含量不同，第一NiAl层和第二NiAl层中的Ni含量不同，其中，第一NiAl层的厚度比第一NiZn层的厚度大至少100nm，第二NiZn层的厚度比第一NiAl层的厚度大至少100nm，第二NiAl层的厚度比第二NiZn层的厚度大至少100nm。

本发明授权一种物理气相沉积辅助激光冲击强化钛合金的方法在权利要求书中公布了：1.一种物理气相沉积辅助激光冲击强化钛合金的方法，其特征在于，所述方法包括： 通过磁控溅射在钛合金表面沉积第一NiZn层； 通过磁控溅射在所述第一NiZn层表面沉积第一NiAl层； 通过磁控溅射在所述第一NiAl层表面沉积第二NiZn层； 通过磁控溅射在所述第二NiZn层表面沉积第二NiAl层，得到待强化的镀膜钛合金； 对所述待强化的镀膜钛合金进行激光冲击疲劳强化； 在对镀膜钛合金进行激光冲击疲劳强化之后，通过超声震动、胶带粘附或摩擦的机械去除方式将钛合金表面镀敷的复合合金膜去除； 其中，所述第一NiZn层和所述第二NiZn层中的Ni含量不同，所述第一NiAl层和所述第二NiAl层中的Ni含量不同，其中，所述第一NiAl层的厚度比所述第一NiZn层的厚度大至少100nm，所述第二NiZn层的厚度比所述第一NiAl层的厚度大至少100nm，所述第二NiAl层的厚度比所述第二NiZn层的厚度大至少100nm； 其中，所述第一NiZn层的化学式为Ni3Zn5，所述第二NiZn层的化学式为Ni3Zn4； 其中，所述第一NiAl层的化学式为Ni2Al7，所述第二NiAl层的化学式为Ni2Al5； 其中，通过磁控溅射在钛合金表面沉积第一NiZn层的具体工艺为： 溅射靶材为Ni3Zn5靶材，溅射电源为射频电源，溅射电压为50-60V，溅射功率为40-50W，溅射温度为100-150℃，溅射气氛为氩气气氛，氩气流量为30-40sccm。

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