光驰股份有限公司吴博寻获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰股份有限公司申请的专利固体表面处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120099478B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510293348.2，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权固体表面处理装置及方法是由吴博寻;秦梓轩设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本固体表面处理装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种固体表面处理装置及方法，所述固体表面处理装置通过气体团簇离子束将固体的表面平坦化，其配置为，首先对固体的膜厚进行规定的滤波处理；根据固体的规定的滤波处理的结果及通过除去量函数求得的所述气体团簇离子束的修整轮廓来进行固体的表面轮廓模拟；基于该固体的表面轮廓模拟的结果，进行固体的表面处理（Trimming）；测定该表面处理（Trimming）的结果；将该测得的表面处理的结果与目标值（Target）比较；反复进行上述处理，直至该表面处理的结果与目标值一致。根据本申请的固体表面处理装置在通过GCIB修整薄膜等固体时，能够以较少的修整量来进行高精度且充分的表面处理。
本发明授权固体表面处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种固体表面处理装置，其通过气体团簇离子束进行用于使固体的厚度均匀的表面处理，具有用于控制所述固体的表面处理的控制部，所述控制部控制下述工序： （a）对所述固体的膜厚进行规定的滤波处理； （b）根据所述固体的所述规定的滤波处理的结果及通过除去量函数求得所述气体团簇离子束的修整轮廓来进行所述固体的表面轮廓模拟； （c）基于该固体的表面轮廓模拟的结果，进行所述固体的表面处理； （d）测定该表面处理的结果； （e）将该测得的表面处理的结果与目标值比较；以及 （f）反复进行所述（a）～（e）的处理，直至该表面处理的结果与所述目标值一致。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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