苏州芯睿科技有限公司时磊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯睿科技有限公司申请的专利一种半导体夹持装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223363135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423295152.7,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种半导体夹持装置是由时磊;辛玄霸;张羽成设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体夹持装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种半导体夹持装置,包括:对称设置的两个夹持件,驱动两个夹持件相互靠近或远离的驱动机构,以及至少一组配置于夹持件以引导两个夹持件沿直线运动的导向机构;导向机构包括:对向设置于两个夹持件的水平位移引导件与导引件,导引件朝向水平位移引导件延伸并活动连接于水平位移引导件,以引导两个夹持件沿水平方向进行直线运动。本申请实现了确保两个夹持件能够沿直线路径平稳移动,以对晶圆的边缘均匀施加预设夹持力。
本实用新型一种半导体夹持装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体夹持装置,其特征在于,包括: 对称设置的两个夹持件,驱动两个所述夹持件相互靠近或远离的驱动机构,以及至少一组配置于所述夹持件以引导两个所述夹持件沿直线运动的导向机构; 所述导向机构包括:对向设置于两个所述夹持件的水平位移引导件与导引件,所述导引件朝向所述水平位移引导件延伸并活动连接于所述水平位移引导件,以引导两个所述夹持件沿水平方向进行直线运动。
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