安徽工业大学张林获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽工业大学申请的专利一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119753591B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411959646.2,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜及其制备方法是由张林;陈慧敏;郑军;张世宏;袁静设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及功能薄膜技术领域,具体涉及一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜及其制备方法,该薄膜由下至上依次包括钛金属基体、金属Ti离子植入层、Ti自愈合层和TiNb合金功能层,所述TiNb合金功能层中,按照原子百分比计,包括Ti20~45%,Nb55~80%,所述TiNb合金功能层包括立方β‑TiNb固溶体结构。本发明所涉及的导电耐蚀合金薄膜能自发形成致密导电耐蚀氧化膜,具有耐高电位腐蚀特点;同时在长期服役过程中通过形成局部钝化填充微孔并愈合,延缓腐蚀介质渗透,在无需添加贵金属的基础上达到较低的接触电阻和腐蚀电流密度,从而有效提升钛金属双极板的导电性、耐蚀性和耐久性。
本发明授权一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种钛金属双极板用导电耐蚀合金薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1,基体预处理:将钛金属基体进行除油、除脂、超声清洗,然后放置去钝化膜溶液中浸泡,最后除水并烘干; S2,等离子体刻蚀:将待镀的钛金属基体放置真空镀膜机中,抽真空后通入氩气开启基体偏压电源,产生辉光等离子体,进行高偏压辉光刻蚀清洗,去除钛合金表面污染物和钝化膜,获得洁净表面; S3,金属离子植入层制备:待S2步骤中等离子刻蚀结束后,开启Ti阴极电弧靶,完成钛金属基体表面Ti离子植入层制备; S4,自愈合层沉积:待S3步骤中金属离子植入层制备完成后,关闭Ti阴极电弧靶,开启Ti溅射靶,沉积纯Ti自愈合层; S5,合金功能层沉积:待S4步骤中Ti自愈合层沉积完成后,同时开启Ti溅射靶和Nb溅射靶,保持气压和基体负偏压不变,沉积TiNb合金功能层,持续时间为60~300min; 所述步骤S3中,制备金属离子植入层时氩气流量为100~300sccm,气压为0.2~0.8Pa,Ti阴极弧靶电流为60~100A,基体负偏压采用递增模式从600V增加至1000V,每5min提高100V,在负偏压1000V条件下持续20min; 所述步骤S4中,Ti溅射靶功率为400~600W,气压为0.2~0.8Pa,沉积温度为80~250℃,基体负偏压为50~300V,沉积时间为20~40min; 所述步骤S5中,Ti溅射靶功率为400~800W,Nb溅射靶功率为400~800W。
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